ORAVA, Jiří, Tomáš WAGNER, Miloš KRBAL, Tomáš KOHOUTEK, Milan VLČEK, Ludvík BENEŠ, Eva KOTULANOVÁ, Petr BEZDIČKA, Petr KLAPETEK a Miloslav FRUMAR. Selective wet etching of amorphous/crystallized Ag/As/S and Ag/As/S/Se chalcogenide thin films. Journal of Physics and Chemistry of Solids. Elsevier, 2007, roč. 68, 5-6, s. 1008-1013. ISSN 0022-3697.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Selective wet etching of amorphous/crystallized Ag/As/S and Ag/As/S/Se chalcogenide thin films
Název česky Selektivní leptání amorfních/zkrystalizovaných Ag/As/S a Ag/As/S/Se chalkogenidových tenkých vrstev
Autoři ORAVA, Jiří (203 Česká republika), Tomáš WAGNER (203 Česká republika), Miloš KRBAL (203 Česká republika), Tomáš KOHOUTEK (203 Česká republika), Milan VLČEK (203 Česká republika), Ludvík BENEŠ (203 Česká republika), Eva KOTULANOVÁ (203 Česká republika), Petr BEZDIČKA (203 Česká republika), Petr KLAPETEK (203 Česká republika, garant) a Miloslav FRUMAR (203 Česká republika).
Vydání Journal of Physics and Chemistry of Solids, Elsevier, 2007, 0022-3697.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10402 Inorganic and nuclear chemistry
Stát vydavatele Česká republika
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor Impact factor: 0.899
Kód RIV RIV/00216224:14310/07:00028406
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000247887800068
Klíčová slova anglicky Chalcogenides;Amorphous materials;Quasicrystals;Thin films;Surface properties
Štítky Amorphous materials, Chalcogenides, quasicrystals, Surface Properties, thin films
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnil: Mgr. Miroslav Valtr, Ph.D., učo 13715. Změněno: 19. 6. 2008 11:16.
Anotace
The paper is focused on the possibilities of selective wet etching of optically and thermally crystallized /amorphous Ag-doped chalcogenide thin films, namely Ag-x(As0.33S0.67)(100-x) and Ag-x(As0.33S0.335Se0.335)(100-x). The selective etching of optically(thermally) crystallized Ag-x(As0.33S0.67)(100-x) and thermally crystallized Ag-x(As0.33S0.335Se0.335)(100-x) thin films in water solution of NaCN is presented. The good surface quality is an important and crucial parameter for optical elements fabrication (e.g. grids, waveguides, etc.) especially in nanometer dimensions. The selective etching of undoped and Ag optically doped region was also carried out to observe surface roughness of doped region before and after selective etching. Characterization of the structure and surface of studied films by Raman spectroscopy, X-ray diffraction, AFM and SEM methods has been done and potential application suggested.
Návaznosti
AV0Z40500505, záměrNázev: Progresivní makromolekulární materiály a supramolekulární systémy: syntéza a studium vlastností, jevů a možností využití pro speciální aplikace a moderní technologie
GA203/06/1368, projekt VaVNázev: Příprava a studium amorfních chalkogenidových vrstev a jejich potenciální aplikace pro optický záznam a paměti
MSM0021627501, záměrNázev: Cílená příprava speciálních sloučenin a materiálů a studium jejich fyzikálně-chemických vlastností a nadmolekulárních struktur
VytisknoutZobrazeno: 15. 10. 2024 22:19