OHLÍDAL, Ivan, David NEČAS a Daniel FRANTA. Spectroscopic ellipsometry and reflectometry of statistically rough surfaces exhibiting wide intervals of spatial frequencies. physica status solidi (c). Weinheim: WILEY-VCH Verlag GmbH, 2008, roč. 5, č. 5, s. 1399–1402. ISSN 1610-1634.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Spectroscopic ellipsometry and reflectometry of statistically rough surfaces exhibiting wide intervals of spatial frequencies
Název česky Spektroskopická elipsometrie a odrazivost statisticky drsných povrchů vykazující široký interval prostorových frekvencí
Autoři OHLÍDAL, Ivan (203 Česká republika, garant), David NEČAS (203 Česká republika) a Daniel FRANTA (203 Česká republika).
Vydání physica status solidi (c), Weinheim, WILEY-VCH Verlag GmbH, 2008, 1610-1634.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10306 Optics
Stát vydavatele Německo
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14310/08:00025069
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000256862500096
Klíčová slova anglicky ellipsometry; spectrophotometry; rough surfaces
Štítky ellipsometry, rough surfaces, Spectrophotometry
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnil: Mgr. Daniel Franta, Ph.D., učo 2000. Změněno: 3. 7. 2009 09:40.
Anotace
Two optical methods for the optical characterization of the statistically rough surfaces exhibiting wide intervals of spatial frequencies are presented. These methods employ the combination of variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry. The first method is based on combining the scalar diffraction theory and effective medium theory while the second method combines the scalar diffraction theory with Rayleigh-Rice theory. Both the methods are applied to the optical characterization of statistically rough GaAs surfaces prepared by thermal oxidation. It is shown that both the methods can be utilized for characterization of these surfaces in a reasonable way, however, the latter is more suitable for this purpose. The results of the optical characterization of the selected rough GaAs surface are supported by those obtained using atomic force microscopy.
Anotace česky
Two optical methods for the optical characterization of the statistically rough surfaces exhibiting wide intervals of spatial frequencies are presented. These methods employ the combination of variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry. The first method is based on combining the scalar diffraction theory and effective medium theory while the second method combines the scalar diffraction theory with Rayleigh-Rice theory. Both the methods are applied to the optical characterization of statistically rough GaAs surfaces prepared by thermal oxidation. It is shown that both the methods can be utilized for characterization of these surfaces in a reasonable way, however, the latter is more suitable for this purpose. The results of the optical characterization of the selected rough GaAs surface are supported by those obtained using atomic force microscopy.
Návaznosti
GA203/05/0524, projekt VaVNázev: Fotonická skla a amorfní vrstvy
Investor: Grantová agentura ČR, Fotonická skla a amorfní vrstvy
MSM0021622411, záměrNázev: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 10. 6. 2024 13:40