DVOŘÁK, Pavel and Zdeněk MORAVEC. Higher harmonic frequencies measured in Capacitively Coupled Plasma. In 2nd CESPC - Book of extended abstracts. Brno: Ústav fyzikální elektroniky (PřF MU), JČM, 2008, p. 74.
Other formats:   BibTeX LaTeX RIS
Basic information
Original name Higher harmonic frequencies measured in Capacitively Coupled Plasma
Name in Czech Vyšší harmonické frekvence měřené v kapacitně vázaném plazmatu
Authors DVOŘÁK, Pavel (203 Czech Republic, guarantor) and Zdeněk MORAVEC (203 Czech Republic).
Edition Brno, 2nd CESPC - Book of extended abstracts, p. 74-74, 2008.
Publisher Ústav fyzikální elektroniky (PřF MU), JČM
Other information
Original language English
Type of outcome Proceedings paper
Field of Study 10305 Fluids and plasma physics
Country of publisher Czech Republic
Confidentiality degree is not subject to a state or trade secret
RIV identification code RIV/00216224:14310/08:00027077
Organization unit Faculty of Science
Keywords in English plasma; higher harmonics
Tags higher harmonics, plasma
Changed by Changed by: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711. Changed: 22/12/2008 11:27.
Abstract
Measurement of higher harmonic frequencies in low-pressure capacitive discharge and dependence of their amplitudes on the matching unit parameters.
Abstract (in Czech)
Měření vyšších harmonických frekvencí v nízkotlakém kapacitně vázaném výboji a závislost jejich amplitud na parametrech přizpůsobovacího členu.
Links
MSM0021622411, plan (intention)Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface
PrintDisplayed: 27/4/2024 05:47