B 1993

Handbook of Semiconductor Wafer Cleaning Technology: Science, Technology, and Applications

KERN, Werner

Basic information

Original name

Handbook of Semiconductor Wafer Cleaning Technology: Science, Technology, and Applications

Authors

KERN, Werner

Edition

New Jersey, U.S.A. 623 pp. Materials Science and Process Technology Series, 1993

Publisher

Noyes Publications

Other information

Type of outcome

Odborná kniha

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

ISBN

978-0815513315

Keywords in English

surface; cleaning
Změněno: 5/1/2009 14:13, RNDr. Petr Pánek, Ph.D.