2009
Reflectance of non-uniform thin films
NEČAS, David, Ivan OHLÍDAL a Daniel FRANTAZákladní údaje
Originální název
Reflectance of non-uniform thin films
Název česky
Odrazivost neuniformních tenkých vrstev
Autoři
NEČAS, David (203 Česká republika, domácí), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika, garant, domácí) a Daniel FRANTA (203 Česká republika, domácí)
Vydání
Journal of Optics A: Pure and Applied Optics, Bristol, GB, IOP Publishing Ltd, 2009, 1464-4258
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10306 Optics
Stát vydavatele
Velká Británie a Severní Irsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 1.198
Kód RIV
RIV/00216224:14310/09:00035189
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000263890300005
Klíčová slova anglicky
thin films; thickness non-uniformity; spectrophotometry
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 30. 1. 2012 14:17, Mgr. David Nečas, Ph.D.
V originále
A general formula for the reflectance of a thin film with non-uniform thickness is derived based on expressing its thickness distribution density. Examples of such thickness distribution densities, corresponding to various shapes of the thickness non-uniformity, are presented. In addition, a reflectance formula is derived as the second-order approximation of the general formula expanded into a power series in the root mean square (rms) value of the thickness distribution. By means of a numerical analysis, it is shown that for greater non-uniformities it is necessary to take into account their concrete shapes in the optical characterization, whereas for small non-uniformities the concrete shape is of no importance for the characterization. The theoretical results are applied to the complete optical characterization of a selected non-uniform carbon nitride film.
Česky
Na základě vyjádření rozdělovací funkce tloušťky vrstvy je vyjádřen obecný vztah pro odrazivost neuniformní tenké vrstvy. Jsou uvedeny příklady rozdělení tlouštěk odpovídající různým tvarům tloušťkové neuniformity. Dále je odvozen vzorec pro odrazivost coby aproximace druhého řádu rozvoje obecné formule do mocninné řady ve střední kvadratické odchylce (rms) rozdělení tloušťek. Pomocí numerické analýzy je ukázno, že pro větší hodnoty tloušťkové neuniformity je při optické charakterizaci třeba vzít v úvahu konkrétní tvar neuniformity, kdežto pro malé neuniformity není konkrétní tvar podstatný. Teoretické výsledky jsou aplikovány na kompletní optickou charakterizaci vybrané neuniformní vrstvy nitridu uhlíku.
Návaznosti
| MSM0021622411, záměr |
|