2009
Application of spectroscopic imaging reflectometry to analysis of area non-uniformity in diamond-like carbon films
OHLÍDAL, Miloslav, Ivan OHLÍDAL, Petr KLAPETEK, David NEČAS, Vilma BURŠÍKOVÁ et. al.Základní údaje
Originální název
Application of spectroscopic imaging reflectometry to analysis of area non-uniformity in diamond-like carbon films
Název česky
Použití spektroskopické zobrazovací reflektometrie pro analýzu plošné neuniformity diamantu podobných uhlíkových vrstev
Autoři
OHLÍDAL, Miloslav (203 Česká republika), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika, garant), Petr KLAPETEK (203 Česká republika), David NEČAS (203 Česká republika) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika)
Vydání
Diamond and Related Materials, New York, Elsevier Science S.A. 2009, 0925-9635
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10306 Optics
Stát vydavatele
Švýcarsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 1.822
Kód RIV
RIV/00216224:14310/09:00029277
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000264429300064
Klíčová slova česky
diamantu podobný uhlík; charakterizace optických vlastností
Klíčová slova anglicky
diamond-like carbon films; optical properties characterization
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 11. 5. 2009 13:45, Mgr. David Nečas, Ph.D.
V originále
Complete optical characterization of diamond-like carbon (DLC) films non-uniform in thickness is performed using spectroscopic imaging reflectometry (SIR). It is shown that by using this technique it is possible to determine the area distribution (area map) of the local thickness of these films with arbitrary shape of this thickness non-uniformity. Furthermore, it is shown that in principle it is possible to determine the distributions of the refractive index and extinction coefficient of these films simultaneously with the thickness distribution, if a suitable dispersion model of these optical constants is chosen. In this paper the dispersion model of the optical constants of the DLC films based on parameterization of density of electronic states (DOS) is used. The values of the material parameters of this dispersion model are determined too. It is shown that the DLC films studied do not exhibit the area non-uniformity in material parameters and optical constants. The method presented can be used to characterize the non-uniform films consisting of other materials.
Česky
Úplná optická charakterizace diamantu-podobného uhlíku (DLC) vrstev neuniformních v tloušťce je provedena pomocí spektroskopické zobrazovací reflektometrie (SIR). Je ukázáno, že použitím této techniky lze urřit plošnou mapu rozložení lokální tloušťky vrstev s libovolným tvarem tloušťkové neuniformity. Dále je ukázáno, že je v principu možno určit rozdělení indexu lomu a exktinkčního koeficientu vrstev současně s rozdělením tlouštěk, je-li zvolen vhodný disperzní model optických konstant. V tomto článku se využívá model optických konstant založený na parametrizaci hustoty elektronových stavů. Hodnoty materiálových parametrů disperzního modelu jsou též určeny. Je ukázáno, že studované vrstvy nevykazují neuniformitu v materiálových parameterech a optických konstantách. Představená metoda může být využita pro charakterizaci neuniformích vrstev jiných materiálů.
Návaznosti
| GA202/07/1669, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|