J 2009

Optical Characterization of Ultra-Thin Iron and Iron Oxide Films

NEČAS, David, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Daniel FRANTA, Pavel SŤAHEL, Petr MIKULÍK et. al.

Základní údaje

Originální název

Optical Characterization of Ultra-Thin Iron and Iron Oxide Films

Název česky

Optická charakterizace ultratenkých vrstev železa a kysličníků železa

Autoři

NEČAS, David (203 Česká republika, domácí), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika, garant, domácí), Daniel FRANTA (203 Česká republika, domácí), Pavel SŤAHEL (203 Česká republika, domácí), Petr MIKULÍK (203 Česká republika), Mojmír MEDUŇA (203 Česká republika, domácí) a Miroslav VALTR (203 Česká republika)

Vydání

e-Journal of Surface Science and Nanotechnology, Tokyo, The Surface Science Society of Japan, 2009, 1348-0391

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Japonsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/09:00028505

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

železo; kysličník železa; elipsometrie; spektrofotometrie; odrazivost Röntgenových paprsků

Klíčová slova anglicky

iron; iron oxide; thin films; ellipsometry; spectrophotometry; X-ray reflection

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 27. 3. 2013 09:17, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Anotace

V originále

Ultra-thin films of 57Fe deposited on silicon substrates and SiOxCyHz support layers and subsequently oxidized in laboratory atmosphere are studied by two optical methods: the combination of UV/VIS/NIR spectroscopic ellipsometry and spectrophotometry, used to find layer thicknesses and optical constants, and X-ray specular reflectometry, used to obtain the electron density depth profile. The results of both methods are compared and found to be in a relatively good agreement.

Česky

Velmi tenké vrstvy 57Fe připravené na křemíkových podložkách a podpůrných vrstvách z SiOxCyHz a následně okysličené v laboratorní atmosféře jsou studovány pomocí dvou optických metod: kombinace UV/vis/NIR spektroskopické elipsometri a spektrofotometrie, použité k nalezení tloušťek a optických konstant, a odrazivosti Röntgenových paprsků, použité k získání profilu elektronové hustoty. Výsledky obou metod jsou srovnány a shledány býti v poměrně dobré shodě.

Návaznosti

KAN311610701, projekt VaV
Název: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
Investor: Akademie věd ČR, Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
MSM0021622410, záměr
Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek