2009
Is it possible to control degree of target poisoning during RF reactive magnetron sputtering by higher harmonic frequencies of discharge voltage?
VAŠINA, Petr a Pavel DVOŘÁKZákladní údaje
Originální název
Is it possible to control degree of target poisoning during RF reactive magnetron sputtering by higher harmonic frequencies of discharge voltage?
Název česky
Lze kontrolovat otravu terče při magnetronovém naprašování pomocí vyšších harmonických frekvencí výbojového napětí?
Autoři
VAŠINA, Petr (203 Česká republika, garant) a Pavel DVOŘÁK (203 Česká republika)
Vydání
Brno, Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8 - Book of abstracts, s. 74-74, 2009
Nakladatel
VUT Brno
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/09:00029369
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
978-80-214-3875-0
Klíčová slova česky
vyšší harmoniky; plazma; magnetron; naprašování
Klíčová slova anglicky
higher harmonics; plasma; discharge; reactive sputtering; magnetron
Štítky
Příznaky
Mezinárodní význam
Změněno: 24. 6. 2009 13:46, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
V originále
Reactive sputtering controlled by flow of the reactive gas suffers from problems in processing stability caused by an abrupt transition between the metallic and the compound mode. During this transition many important parameters including target composition and gas composition change dramatically. A sensitive monitoring method is proposed which is based on the measurement of amplitudes of fundamental or higher harmonic frequencies of discharge voltages. Voltage waveforms recorded from the cathode and from an uncompensated probe were analyzed. Uncompensated probe exhibited higher sensitivity significantly better than sensitivity of any other known electrical method used for the control of magnetron sputtering process. Moreover, some particular experiments show that the changes in amplitudes of the harmonics by the transition are due to the changes of the target composition rather than due the change of the gas composition.
Česky
Kontrola otrávení terče při magnetronovém naprašování pomocí vyšších harmonických frekvencí napětí.
Návaznosti
| GP202/08/P038, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|