Laser ablation time-of-flight mass spectrometry (LA-TOF-MS) of silicon doped diamond-like carbon (DLC-Si)

HOUŠKA, Jan, Vilma BURŠÍKOVÁ a Josef HAVEL. Laser ablation time-of-flight mass spectrometry (LA-TOF-MS) of silicon doped diamond-like carbon (DLC-Si). In Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8. 1. vyd. Brno: JČMF, 2009, s. 46. ISBN 978-80-214-3875-0.

Základní údaje

Originální název

Laser ablation time-of-flight mass spectrometry (LA-TOF-MS) of silicon doped diamond-like carbon (DLC-Si)

Název česky

Laser ablation time-of-flight mass spectrometry (LA-TOF-MS) of silicon doped diamond-like carbon (DLC-Si)

Autoři

HOUŠKA, Jan, Vilma BURŠÍKOVÁ a Josef HAVEL

Vydání

1. vyd. Brno, Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8, s. 46-46, 2009

Nakladatel

JČMF

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-214-3875-0

Klíčová slova česky

Laser ablation; time-of-flight mass spectrometry; silicon doped diamond-like carbon

Klíčová slova anglicky

Laser ablation; time-of-flight mass spectrometry; silicon doped diamond-like carbon

Štítky

laser ablation, silicon doped diamond-like carbon, time-of-flight mass spectrometry

---

Anotace

V originále

Silicon-doped diamond-like carbon (DLC-Si) was prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique from a mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and oxygen using dual frequenci capacitive discharge. Time of flight mass spectrometer equipped with nitrogen laser (337 nm) was used to charakterize its structure via laser ablation. Stoichometry of positively or negatively charged species was confirmed via isotopic pattern simulation. DLC-Si material shows typical spectral patterns similar to those diamond-like carbon. In addition, chemical bound of Si-C in this material was proved and many positively or negatively charged O(m)Si(n)C(o)H(p) species were identified in plasma plume.

Česky

Silicon-doped diamond-like carbon (DLC-Si) was prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique from a mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and oxygen using dual frequenci capacitive discharge. Time of flight mass spectrometer equipped with nitrogen laser (337 nm) was used to charakterize its structure via laser ablation. Stoichometry of positively or negatively charged species was confirmed via isotopic pattern simulation. DLC-Si material shows typical spectral patterns similar to those diamond-like carbon. In addition, chemical bound of Si-C in this material was proved and many positively or negatively charged O(m)Si(n)C(o)H(p) species were identified in plasma plume.

---

Návaznosti

GA202/07/1669, projekt VaV	Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
KAN311610701, projekt VaV	Název: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie Investor: Akademie věd ČR, Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
MSM4977751303, záměr	Název: Predikce poruch heterogenních materiálů, komponent mechanických a biomechanických systémů.