2009
Determination of electron density in RF discharge in neon by emission spectroscopy complemented with C-R model and PIC/MC simulation
NAVRÁTIL, Zdeněk, Oto BRZOBOHATÝ a David TRUNECZákladní údaje
Originální název
Determination of electron density in RF discharge in neon by emission spectroscopy complemented with C-R model and PIC/MC simulation
Název česky
Stanovení koncentrace elektronů v FR výboji v neonu emisní spektroskopií doplněnou srážkově-radiačním modelem a PIC/MC simulací
Autoři
NAVRÁTIL, Zdeněk (203 Česká republika, garant), Oto BRZOBOHATÝ (203 Česká republika) a David TRUNEC (203 Česká republika)
Vydání
Brno, Book of Abstracts, Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8, 1 s. 2009
Nakladatel
Brno University of Technology
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/09:00028720
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
978-80-214-3875-0
Klíčová slova česky
neon; RF výboj; koncentrace elektronů; srážkově-radiační model; optická spektroskopie
Klíčová slova anglicky
neon; RF discharge; electron density; c-r model; optical spectroscopy
Příznaky
Mezinárodní význam
Změněno: 4. 1. 2010 15:23, doc. Mgr. Zdeněk Navrátil, Ph.D.
V originále
The aim of this work was to determine the electron density in the RF discharge in neon from the absolute intensity measurement of neon spectra. The measured optical emission spectra were compared with the spectra calculated by the collisional-radiative model. The electron distribution function, needed for these calculations, was determined from 1D Particle-in-Cell/Monte Carlo model. The electron density was determined with spatial resolution over the discharge gap, reaching peak value of about 1.7 x 10^10 cm-3 in the middle.
Česky
Cílem práce bylo stanovení koncentrace elektronů v FR výboji z absolutního měření intenzit spekter výboje v neonu.
Návaznosti
| GA202/09/0800, projekt VaV |
| ||
| KAN101630651, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|