Determination of plasma parameters in neon RF discharge by optical emission spectroscopy

NAVRÁTIL, Zdeněk a David TRUNEC. Determination of plasma parameters in neon RF discharge by optical emission spectroscopy. In Proceedings of XXIX ICPIG. 2009.

Základní údaje

Originální název

Determination of plasma parameters in neon RF discharge by optical emission spectroscopy

Název česky

Stanovení parametrů plazmatu RF výboje v neonu pomocí optické emisní spektroskopie

Autoři

NAVRÁTIL, Zdeněk (203 Česká republika, garant, domácí) a David TRUNEC (203 Česká republika, domácí)

Vydání

Proceedings of XXIX ICPIG, 2009

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Mexiko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/09:00049386

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

neon; RF výboj; koncentrace elektronů; srážkově-radiační model; optická spektroskopie

Klíčová slova anglicky

neon; RF discharge; electron density; c-r model; optical spectroscopy

Štítky

IK, rivok

Příznaky

Mezinárodní význam

---

Anotace

V originále

Electron density and electron temperature was determined in RF (13.56 MHz) discharge in neon. Collisional-radiative model was applied to determine the theoretical spectra of the discharge for specific plasma parameters. These parameters could be then determined from the best fit of the measured and theoretical spectra. Absolute intensity measurement of plasma emission coefficients of 26 neon lines provided the determination of electron density, their relative intensities determined the electron temperature. Both electron temperature and density were measured as a function of RF power. It was found, that with increasing power the electron density increases, but electron temperature decreases.

Česky

V RF výboji v neonu byla měřena koncentrace elektronů a elektronová teplota. Studium bylo zaměřeno na oblast výboje v blízkosti elektrody. Parametry byly studovány v závislosti na elektrickém výkonu dodávaném do výboje.

---

Návaznosti

GA202/09/0800, projekt VaV	Název: Výzkum a použití impulsních a mikrovlnných zdrojů plazmatu Investor: Grantová agentura ČR, Výzkum a použití impulsních a mikrovlnných zdrojů plazmatu
KAN101630651, projekt VaV	Název: Tvorba nano-vrstev a nano-povlaků na textiliích s využitím plazmových povrchových úprav za atmosférického tlaku Investor: Akademie věd ČR, Tvorba nano-vrstev a nano-povlaků na textiliích s využitím plazmových povrchových úprav za atmosférického tlaku
MSM0021622411, záměr	Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek