X-ray diffraction on precipitates in Czochralski-grown silicon

CAHA, Ondřej a Mojmír MEDUŇA. X-ray diffraction on precipitates in Czochralski-grown silicon. In ICDS-25, 25th International Conference on Defects in Semiconductors, July 20-24, 2009 in St. Petersburg. 2009. ISBN 978-5-93634-048-2.

Základní údaje

• Originální název: X-ray diffraction on precipitates in Czochralski-grown silicon
• Název česky: Rtg difrakce na precipitátech v Czochralského křemíku
• Autoři: CAHA, Ondřej a Mojmír MEDUŇA.
• Vydání: ICDS-25, 25th International Conference on Defects in Semiconductors, July 20-24, 2009 in St. Petersburg, 2009.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Konferenční abstrakt
• Obor: 10302 Condensed matter physics
• Stát vydavatele: Rusko
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• ISBN: 978-5-93634-048-2
• UT WoS: 000276029300035
• Klíčová slova česky: křemík; rtg. difrakce; precipitáty
• Klíčová slova anglicky: Silicon; X-ray diffraction; Precipitates
• Příznaky: Mezinárodní význam, Recenzováno

Anotace

The results of a study of oxygen precipitates in Czochralski grown silicon are reported. High-resolution X-ray diffraction was used to measure reciprocal space maps on samples after various annealing treatment. The measurements were performed for several diffraction orders and systematic differences between reciprocal space maps around different diffractions were found. The diffuse X-ray scattering intensity was simulated, where the displacement field of precipitates was calculated using continuum elasticity theory. The simulations give correct asymptotic behavior and the interpretation of intermediate region between Huang and core scattering processes is found. The X-ray diffraction results are correlated to the infrared absorption spectroscopy measurement involving the interstitial oxygen concentration.

Anotace česky

Jsou uvedeny výsledky studie precipitace kyslíku v CZ Si. Rtg difrakce s vysokým rozlišením byla použita pro měření map reciprokého prostoru na vzorcích s různým žíhacím procesem. Měření byla provedena pro několik řádů difrakce a byly zjištěny systematické rozdíly. Byl simulován difuzní rtg rozptyl, kde bylo počítáno pole posunutí od precipitátu za použití teorie elasticity kontinua. Simulace dávají správné asymptotické chování a byla nalezena interpretace oblasti mezi Huangovým rozptylem a rozptylem na jádře. Výsledky rtg difrakce jsou korelovány s měřením infračervené absorpční spektroskopie poskytující koncentraci intersticiálního kyslíku.

Návaznosti

• GA202/09/1013, projekt VaV: Název: Nukleace a růst kyslíkových precipitátů v křemíku

Investor: Grantová agentura ČR, Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku

• GP202/09/P410, projekt VaV: Název: Řízení elastického napětí v magnetických polovodičích

Investor: Grantová agentura ČR, Řízení elastického napětí v magnetických polovodičích

• MSM0021622410, záměr: Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur