Suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in acetylene gas.
SCHMIDTOVÁ, Tereza a Petr VAŠINA. Suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in acetylene gas. In International Symposium on Reactive Sputter Deposition 2009. 2009. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in acetylene gas. |
Název česky | Potlačené hysterezní chování rozprašování titanu v acetylenu. |
Autoři | SCHMIDTOVÁ, Tereza (203 Česká republika, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí). |
Vydání | International Symposium on Reactive Sputter Deposition 2009, 2009. |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | angličtina |
Typ výsledku | Konferenční abstrakt |
Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
Stát vydavatele | Velká Británie a Severní Irsko |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Kód RIV | RIV/00216224:14310/09:00049603 |
Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
Klíčová slova česky | modelovaní; magnetron; hystereze |
Klíčová slova anglicky | magnetron sputtering; reactive; hysteresis |
Štítky | IK, rivok |
Změnil | Změnila: Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D., učo 151253. Změněno: 5. 4. 2012 13:54. |
Anotace |
---|
This contribution deals with suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in argon and acetylene mixture. |
Anotace česky |
---|
Tento příspěvek pojednává o potlačeném hysterezní chování rozprašování titanu ve směsi acetylenu a argonu. |
Návaznosti | |
---|---|
GP202/08/P038, projekt VaV | Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev |
Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev | |
MSM0021622411, záměr | Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
VytisknoutZobrazeno: 30. 7. 2024 22:28