SCHMIDTOVÁ, Tereza a Petr VAŠINA. Suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in acetylene gas. In International Symposium on Reactive Sputter Deposition 2009. 2009.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in acetylene gas.
Název česky Potlačené hysterezní chování rozprašování titanu v acetylenu.
Autoři SCHMIDTOVÁ, Tereza (203 Česká republika, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí).
Vydání International Symposium on Reactive Sputter Deposition 2009, 2009.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Konferenční abstrakt
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Velká Británie a Severní Irsko
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14310/09:00049603
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova česky modelovaní; magnetron; hystereze
Klíčová slova anglicky magnetron sputtering; reactive; hysteresis
Štítky IK, rivok
Změnil Změnila: Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D., učo 151253. Změněno: 5. 4. 2012 13:54.
Anotace
This contribution deals with suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in argon and acetylene mixture.
Anotace česky
Tento příspěvek pojednává o potlačeném hysterezní chování rozprašování titanu ve směsi acetylenu a argonu.
Návaznosti
GP202/08/P038, projekt VaVNázev: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
MSM0021622411, záměrNázev: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 30. 7. 2024 22:28