a 2009

Suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in acetylene gas.

SCHMIDTOVÁ, Tereza a Petr VAŠINA

Základní údaje

Originální název

Suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in acetylene gas.

Název česky

Potlačené hysterezní chování rozprašování titanu v acetylenu.

Autoři

SCHMIDTOVÁ, Tereza (203 Česká republika, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí)

Vydání

International Symposium on Reactive Sputter Deposition 2009, 2009

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Velká Británie a Severní Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/09:00049603

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

modelovaní; magnetron; hystereze

Klíčová slova anglicky

magnetron sputtering; reactive; hysteresis

Štítky

Změněno: 5. 4. 2012 13:54, Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

This contribution deals with suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in argon and acetylene mixture.

Česky

Tento příspěvek pojednává o potlačeném hysterezní chování rozprašování titanu ve směsi acetylenu a argonu.

Návaznosti

GP202/08/P038, projekt VaV
Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek