J 2009

Wireless temperature measurement in the hot filament CVD reactor for deposition of carbon nanotubes

KOLMAČKA, Michal, Magdaléna KADLEČÍKOVÁ, Juraj BREZA, Filip LAZIŠŤAN, Lenka ZAJÍČKOVÁ et. al.

Basic information

Original name

Wireless temperature measurement in the hot filament CVD reactor for deposition of carbon nanotubes

Name in Czech

Bezkontaktní měření teploty při depozici uhlíkových nanotrubek v reaktoru pro chemickou depozici pomocí žhaveného vlakna

Authors

KOLMAČKA, Michal (703 Slovakia), Magdaléna KADLEČÍKOVÁ (703 Slovakia, guarantor, belonging to the institution), Juraj BREZA (703 Slovakia), Filip LAZIŠŤAN (703 Slovakia), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Czech Republic, belonging to the institution), Marek ELIÁŠ (203 Czech Republic, belonging to the institution), Karol JESENÁK (703 Slovakia) and Katarína PASTORKOVÁ (703 Slovakia)

Edition

Journal of Electrical Engineering, Bratislava, Slovak University of Technology, 2009, 1335-3632

Other information

Language

English

Type of outcome

Článek v odborném periodiku

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Slovakia

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impact factor

Impact factor: 0.175

RIV identification code

RIV/00216224:14310/09:00029751

Organization unit

Faculty of Science

UT WoS

000273378200007

Keywords (in Czech)

uhlíkové nanotrubky; depozice z plynné fáze; izolační zesilovač

Keywords in English

carbon nanotubes; chemical vapour deposition; isolation amplifier

Tags

Reviewed
Změněno: 27/3/2013 09:16, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Abstract

V originále

The experimental work deals with measuring the temperature in the hot filament chemical vapour deposition (HF CVD) reactor by a purpose-built electronic circuit. The objective is to optimize the substrate temperature, one of the key technological parameters in the synthesis of carbon nanotubes. The main outcome of the work is the design and construction of a functional thermometer, its precision calibration and improved accuracy of temperature measurement.

In Czech

Experimentální práce se zabývá měřením teploty reaktoru pro chemickou depozici pomocí žhaveného vlákna připraveným elektronickým zařízení. Cílem bylo najít optimální teplotu substrátu, která je jedním z klíčových parametrů při syntéze uhlíkových nanotrubek. Hlavním výsledkem práce je návrh a konstrukce funkčního teploměru, jeho přesná kalibrace a zlepšení přesnosti měření teploty.

Links

GP202/07/P523, research and development project
Name: Plazmochemická depozice (PECVD) uhlíkových nanotrubek
Investor: Czech Science Foundation, Plasma enhanced chemical vapor deposition of carbon nanotubes
MEB0808100, research and development project
Name: Příprava uhlíkových nanostruktur metodami CVD a jejich charakterizace
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Preparation of carbon nanostructures by CVD and their characterization, Programme KONTAKT - mobilities (MEB)
MSM0021622411, plan (intention)
Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface