Synthesis of carbon nanotubes by plasma-enhanced chemical vapor deposition in an atmospheric-pressure microwave torch

ZAJÍČKOVÁ, Lenka, Ondřej JAŠEK, Marek ELIÁŠ, Petr SYNEK, Lukáš LAZAR, Oldřich SCHNEEWEISS a Renáta HANZLÍKOVÁ. Synthesis of carbon nanotubes by plasma-enhanced chemical vapor deposition in an atmospheric-pressure microwave torch. Pure and Applied Chemistry. 2010, roč. 82/2010, č. 6, s. 1259-1272, 13 s. ISSN 0033-4545.

Základní údaje

Originální název

Synthesis of carbon nanotubes by plasma-enhanced chemical vapor deposition in an atmospheric-pressure microwave torch

Autoři

ZAJÍČKOVÁ, Lenka (203 Česká republika, garant, domácí), Ondřej JAŠEK (203 Česká republika, domácí), Marek ELIÁŠ (203 Česká republika, domácí), Petr SYNEK (203 Česká republika, domácí), Lukáš LAZAR (203 Česká republika, domácí), Oldřich SCHNEEWEISS (203 Česká republika) a Renáta HANZLÍKOVÁ (203 Česká republika)

Vydání

Pure and Applied Chemistry, 2010, 0033-4545

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Impakt faktor

Impact factor: 2.134

Kód RIV

RIV/00216224:14310/10:00040527

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000279063900008

Klíčová slova česky

katalyzátor; mikrovlnný pochodňový výboj; pecvd; rastrovací mikroskopie

Klíčová slova anglicky

catalyst; microwave torch; plasma-enhanced chemical vapor deposition; scanning electron microscopy

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

---

Anotace

V originále

There are many different techniques for the synthesis of carbon nanotubes (CNTs), and plasma technologies experience a significant competitor in thermal chemical vapor deposition (CVD) processes. A particular process is, therefore, selected according to the specific requirements of an application, which clearly differ for the development of composites as compared to nanoelectronics, field emission, displays, sensors, and the like. This paper discusses the method for the synthesis of CNTs using an atmospheric-pressure microwave (MW) torch. It was successfully applied in the fast deposition of multiwalled nanotubes (MWNTs) on a substrate without the necessity of any vacuum or heating equipment. Dense straight-standing nanotubes were prepared on Si substrates with and also without barrier SiOx layer. Therefore, it was possible to produce CNTs directly on conductive Si and to use them as an electron-emitting electrode of the gas pressure sensor. The CNTs grown in MW torch were also used to create a gas sensor based on the changes of electrical resistance measured between two planar electrodes connected by the CNTs.

Česky

V článku je uveden krátký souhrn aplikací a metod produkce uhlíkových nanotrubek se zvláštní zřetelem na produkci nanotrubek v mikrovlnném plazmovém hořáku za atmosferického tlaku. Jeho vysokou efektivitou pro růst CNT přímo na Si substrátech s možností selektivního růstu. V závěru je popsáno využití těchto Si/CNT vzorků odporových senzorů plynů.

---

Návaznosti

GAP205/10/1374, projekt VaV	Název: Syntéza uhlíkových nanotrubek plazmochemickou metodou a studium jejich funkčních vlastností Investor: Grantová agentura ČR, Syntéza uhlíkových nanotrubek plazmochemickou metodou a studium jejich funkčních vlastností
GA202/08/0178, projekt VaV	Název: Syntéza magnetických nanočástic na bázi Fe v nízkoteplotním mikrovlnném plazmatu Investor: Grantová agentura ČR, Syntéza magnetických nanočástic na bázi Fe v nízkoteplotním mikrovlnném plazmatu
GD104/09/H080, projekt VaV	Název: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
KAN311610701, projekt VaV	Název: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie Investor: Akademie věd ČR, Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
MSM0021622411, záměr	Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek