Diagnostics of reactive magnetron sputtering
VAŠINA, Petr, Pavel DVOŘÁK a Tereza SCHMIDTOVÁ. Diagnostics of reactive magnetron sputtering. In 37th EPS Conference on Plasma Physics - abstracts. 2010. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Diagnostics of reactive magnetron sputtering |
Název česky | Diagnostika reaktivního magnetronového naprašování |
Autoři | VAŠINA, Petr (203 Česká republika, domácí), Pavel DVOŘÁK (203 Česká republika, garant, domácí) a Tereza SCHMIDTOVÁ (203 Česká republika, domácí). |
Vydání | 37th EPS Conference on Plasma Physics - abstracts, 2010. |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | angličtina |
Typ výsledku | Konferenční abstrakt |
Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
Stát vydavatele | Irsko |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Kód RIV | RIV/00216224:14310/10:00044281 |
Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
Klíčová slova česky | plazma; vyšší harmonické frekvence; reaktivní magnetronové naprašování |
Klíčová slova anglicky | plasma; higher harmonic frequencies; reactive magnetron sputtering |
Změnil | Změnila: Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D., učo 151253. Změněno: 4. 1. 2011 09:35. |
Anotace |
---|
Monitoring of reactive magnetron sputtering by means of measurement of higher harmonic frequencies of discharge voltages. |
Anotace česky |
---|
Monitorování reaktivního magnetronového naprašování pomocí měření vyšších harmonických frekvencí napětí. |
Návaznosti | |
---|---|
GA202/07/1669, projekt VaV | Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích |
Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích | |
GP202/08/P038, projekt VaV | Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev |
Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev | |
MSM0021622411, záměr | Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
VytisknoutZobrazeno: 6. 10. 2024 08:40