J 2010

SYNTHESIS OF CARBON NANOSTRUCTURES BY PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION AT ATMOSPHERIC PRESSURE

JAŠEK, Ondřej, Petr SYNEK, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Marek ELIÁŠ, Vít KUDRLE et. al.

Základní údaje

Originální název

SYNTHESIS OF CARBON NANOSTRUCTURES BY PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION AT ATMOSPHERIC PRESSURE

Název česky

Syntéza uhlíkových nanotrubek metodou PECVD za atmosférického tlaku

Autoři

JAŠEK, Ondřej (203 Česká republika, garant, domácí), Petr SYNEK (203 Česká republika, domácí), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika, domácí), Marek ELIÁŠ (203 Česká republika, domácí) a Vít KUDRLE (203 Česká republika, domácí)

Vydání

Journal of Electrical Engineering, Bratislava, Slovak University of Technology, 2010, 1335-3632

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Slovensko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

Impakt faktor

Impact factor: 0.278

Kód RIV

RIV/00216224:14310/10:00040639

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000284749900013

Klíčová slova česky

uhlíkové nanostruktury, PECVD, atmosférický tlak

Klíčová slova anglicky

carbon nanostructures; plasma enhanced chemical vapour deposition; atmospheric pressure

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 27. 4. 2013 10:50, prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Carbon nanostructures present the leading field in nanotechnology research. A wide range of chemical and physical methods was used for carbon nanostructures synthesis including arc discharges, laser ablation and chemical vapour deposition. Plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) with its application in modern microelectronics industry became soon target of research in carbon nanostructures synthesis. Selection of the ideal growth process depends on the application. Most of PECVD techniques work at low pressure requiring vacuum systems. However for industrial applications it would be desirable to work at atmospheric pressure. In this article carbon nanostructures synthesis by plasma discharges working at atmospheric pressure will be reviewed.

Česky

Uhlíkové nanostruktury patří mezi vedoucí nanotechnologický výzkum. K syntéze uhlíkových nanostruktur lze použít širokou škálu chemických a fyzikálních metod jako například obloukové výboje, laserovou ablaci a CVD. PECVD se svých uplatněním v mikroelektronice se brzy stalo cílem výzkumu i v této oblasti. Výběr metod úzce souvisí s aplikací dané technologie. Ačkoli mnoho metod pracuje při nízkém tlaku, z hlediska aplikací by bylo vhodné použít metodou pracující za atmosférického tlaku. V této publikaci jsou shrnuty metody syntézy uhlíkových nanostruktur za atmosférického tlaku.

Návaznosti

GAP205/10/1374, projekt VaV
Název: Syntéza uhlíkových nanotrubek plazmochemickou metodou a studium jejich funkčních vlastností
Investor: Grantová agentura ČR, Syntéza uhlíkových nanotrubek plazmochemickou metodou a studium jejich funkčních vlastností
GA202/08/0178, projekt VaV
Název: Syntéza magnetických nanočástic na bázi Fe v nízkoteplotním mikrovlnném plazmatu
Investor: Grantová agentura ČR, Syntéza magnetických nanočástic na bázi Fe v nízkoteplotním mikrovlnném plazmatu
GD104/09/H080, projekt VaV
Název: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
KAN311610701, projekt VaV
Název: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
Investor: Akademie věd ČR, Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Přiložené soubory

v10187-011-0049-9.pdf
Vyhledat podobné dokumenty