2011
Optimized calibration and measurement procedures in rotating analyzer and rotating polarizer ellipsometry
MÜNZ, Filip, Josef HUMLÍČEK a Přemysl MARŠÍKZákladní údaje
Originální název
Optimized calibration and measurement procedures in rotating analyzer and rotating polarizer ellipsometry
Název česky
Optimalizovaná kalibrace a proces měření v elipsometrii s rotačním analyzátorem či polarizátorem
Autoři
MÜNZ, Filip (203 Česká republika, garant, domácí), Josef HUMLÍČEK (203 Česká republika, domácí) a Přemysl MARŠÍK (203 Česká republika)
Vydání
Thin Solid Films, Elsevier, 2011, 0040-6090
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 1.890
Kód RIV
RIV/00216224:14310/11:00051581
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000289174200029
Klíčová slova česky
elipsometrie: spektroskopická; analyzátor: rotační
Klíčová slova anglicky
ellipsometry: spectroscopic; analyzer: rotating
Změněno: 6. 1. 2014 13:27, prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.
V originále
Accurate spectroellipsometric (SE) measurements in the rotating analyzer (RAE) or rotating polarizer (RPE) configurations require accurate values of the polarizer/analyzer(/retarder) azimuths. Accurate spectroellipsometric (SE) measurements in the rotating analyzer (RAE) or rotating polarizer (RPE) configurations require accurate values of the polarizer/analyzer(/retarder) azimuths. While the readings are usually fairly accurate, true values are influenced by possible offsets between the plane of incidence, physical axes of the elements, and the instrument scales. The offsets are often determined by specialized calibration procedures. We describe SE measurements designed to obtain the calibration parameters together with the target ellipsometric spectra. We use multiple settings of the polarizer (analyzer) azimuths in RAE (RPE), respectively, to optimize precision and accuracy of SE measurements, and to economize measurement time. The optimization concerns the choice of measurement parameters as well as the subsequent data analysis. We present in detail examples of visible-ultraviolet measurements.
Česky
Přesná elipsometrická měření (SE) s rotačním polarizátorem nebo analyzátorem vyžadují správné hodnoty azimutů polarizačních prvků. Zatímco přesnost odečtu bývá obvykle dostatečná, skutečná hodnota je ovlivněna i odchylkou mezi rovinou dopadu, fyzickými osami prvků a přístrojovými stupnicemi. Tato odchylka bývá stanovena zvláštními kalibračními procedurami. Navrhujeme způsob SE měření, při kterých lze získat kalibrační údaje spolu s měřenými daty. Používáme několik nastavení polarizátoru nebo analyzátoru s optimalizací přesnosti a správnosti SE měření. Optimalizace se vztahuje na volbu parametrů i proces následné analýzy dat. Uvádíme také příklad měření ve viditelné a ultrafialové oblasti.
Návaznosti
| MSM0021622410, záměr |
|