Oxygen Precipitation in CZ Si Wafers after High Temperature Pre-annealing
MEDUŇA, Mojmír, Ondřej CAHA, Josef KUBĚNA, Alan KUBĚNA, Milan SVOBODA a Jiří BURŠÍK. Oxygen Precipitation in CZ Si Wafers after High Temperature Pre-annealing. In SILICON 2010. 2010. ISBN 978-80-254-7361-0. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Oxygen Precipitation in CZ Si Wafers after High Temperature Pre-annealing |
Název česky | Precipitace kyslíku v CZ Si deskách po vysokoteplotním předžíhání |
Autoři | MEDUŇA, Mojmír (203 Česká republika, garant, domácí), Ondřej CAHA (203 Česká republika, domácí), Josef KUBĚNA (203 Česká republika, domácí), Alan KUBĚNA (203 Česká republika, domácí), Milan SVOBODA (203 Česká republika) a Jiří BURŠÍK (203 Česká republika). |
Vydání | SILICON 2010, 2010. |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | angličtina |
Typ výsledku | Konferenční abstrakt |
Obor | 10302 Condensed matter physics |
Stát vydavatele | Česká republika |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Kód RIV | RIV/00216224:14310/10:00046555 |
Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
ISBN | 978-80-254-7361-0 |
Klíčová slova anglicky | oxygen precipitžation; si wafers |
Změnil | Změnil: RNDr. Jiří Buršík, DSc., učo 54857. Změněno: 19. 1. 2012 18:33. |
Anotace |
---|
In this work we study two stage and three stage annealing processes with application of Tabula rasa. The evolution of precipitates at various phases during annealing process for various temperatures was obtained from series of experimental techniques. |
Anotace česky |
---|
V této práci studujeme dvou a třístupňové žíhací procesy s aplikaci Tabula rasa. Vývoj precipitace v různých fázích během žíhacích procesů pro různé teploty byly získány různými experimentálními technikami. |
Návaznosti | |
---|---|
GA202/09/1013, projekt VaV | Název: Nukleace a růst kyslíkových precipitátů v křemíku |
Investor: Grantová agentura ČR, Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku | |
MSM0021622410, záměr | Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur |
VytisknoutZobrazeno: 8. 10. 2024 07:15