Diamond-Like Carbon film for protective use on glass and polymer surfaces

MURESAN, Mihai George, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Daniel FRANTA a David NEČAS. Diamond-Like Carbon film for protective use on glass and polymer surfaces. In Potential and applications of surface nanotreatment of polymers and glass. 2010.

Základní údaje

• Originální název: Diamond-Like Carbon film for protective use on glass and polymer surfaces
• Autoři: MURESAN, Mihai George (642 Rumunsko, garant, domácí), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika, domácí), Daniel FRANTA (203 Česká republika, domácí) a David NEČAS (203 Česká republika, domácí).
• Vydání: Potential and applications of surface nanotreatment of polymers and glass, 2010.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Konferenční abstrakt
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Česká republika
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• WWW: URL
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/10:00047541
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• Klíčová slova anglicky: DLC; pecvd; glass; polymers; hardness

Anotace

Amorphous hydrogenated carbon films can be used, besides tribological applications for optical applications. It can include antireflective coatings, photosensitive materials, scratch resistant glass and polymer surfaces. The optical properties are crucial parameters for these applications, especially possible tuning of refractive index and decrease of absorption in visible. Diamond-like carbon (amorphous hydrogenated carbon: a-C:H) films were deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) using capacitively coupled rf discharge at 13.56 MHz in the mixture of methane and hydrogen on silicon and glass substrates. DC self-bias, time and gas feed composition parameters were used for modification of the optical properties, adhesion to substrates, chemical composition and structure of the deposited films. . The optical properties of the films were investigated using UV-VIS reflectometry and ellipsometry. Mechanical tests, in form of depth sensing indentation, were also performed. Acknowledgement: This research has been supported by Ministry of Education, under project MSM 0021622411, grant agency GACR No. 104/09/H080

Návaznosti

• GD104/09/H080, projekt VaV: Název: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace

Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace

• MSM0021622411, záměr: Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek