Reaction of higher harmonic frequencies on thin films
| DVOŘÁK, Pavel, Radek ŽEMLIČKA, Vilma BURŠÍKOVÁ, Petr VAŠINA a Jiří ŠPERKA. Reaction of higher harmonic frequencies on thin films. In Proceedings of ICPIG 2011. 2011. |
|
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
| Základní údaje | |
|---|---|
| Originální název | Reaction of higher harmonic frequencies on thin films |
| Název česky | Reakce vyšších harmonických frekvencí na přítomnost tenkých vrstev |
| Autoři | DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant), Radek ŽEMLIČKA (203 Česká republika, domácí), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí), Petr VAŠINA (203 Česká republika, domácí) a Jiří ŠPERKA (203 Česká republika, domácí). |
| Vydání | Proceedings of ICPIG 2011, 2011. |
| Další údaje | |
|---|---|
| Originální jazyk | angličtina |
| Typ výsledku | Konferenční abstrakt |
| Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
| Stát vydavatele | Velká Británie a Severní Irsko |
| Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
| Kód RIV | RIV/00216224:14310/11:00050080 |
| Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
| Klíčová slova česky | kapacitně vázané výboje; vyšší harmonické frekvence; depozice |
| Klíčová slova anglicky | capacitively coupled discharges; higher harmonic frequencies; deposition |
| Změnil | Změnil: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711. Změněno: 5. 4. 2012 13:14. |
| Anotace |
|---|
| Reaction of higher harmonic frequencies on creation or destruction of thin films. |
| Anotace česky |
|---|
| Reakce vyšších harmonických frekvencí na vytvoření nebo odleptání tenké vrstvy. |
| Návaznosti | |
|---|---|
| GA202/07/1669, projekt VaV | Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích |
| Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích | |
| MSM0021622411, záměr | Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
| Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek | |
VytisknoutZobrazeno: 25. 8. 2024 11:05