a 2011

Experimental study of hybrid PVD-PECVD process of titanium target sputtering in argon and acetylene

SCHMIDTOVÁ, Tereza, Petr VAŠINA a Pavel SOUČEK

Základní údaje

Originální název

Experimental study of hybrid PVD-PECVD process of titanium target sputtering in argon and acetylene

Název česky

Experimentální studie hybridního PVD-PECVD procesu rozprašování titanového terče v argonu a acetylenu

Autoři

SCHMIDTOVÁ, Tereza (203 Česká republika, domácí), Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí) a Pavel SOUČEK (203 Česká republika, domácí)

Vydání

RSD 2011 - Reactive Sputter Deposition, 2011

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Švédsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/11:00050229

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

magnetronové rozprašování; hybridní PVD-PECVD proces; diagnostika; hystereze; OES

Klíčová slova anglicky

magnetron sputtering; hybrid PVD-PECVD; diagnostics; hysteresis; OES
Změněno: 6. 1. 2012 10:43, doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

This contribution deals with the experimental study of hybrid PVD-PECVD process of titanium sputtering in argon and acetylene.

Česky

Tento příspěvek se věnuje experimentálnímu studiu hybridního PVD-PECVD procesu rozprašování titanového terče v argonu a acetylenu

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GD104/09/H080, projekt VaV
Název: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek