Oxygen precipitation studied by x-ray diffraction techniques

MEDUŇA, Mojmír, Ondřej CAHA, Jiří RŮŽIČKA, Silvie BERNATOVÁ, Milan SVOBODA and Jiří BURŠÍK. Oxygen precipitation studied by x-ray diffraction techniques. Solid State Phenomena. Trans Tech Publications, 2011, Neuveden, 178-179, p. 325-330. ISSN 1012-0394.

Basic information

Original name

Oxygen precipitation studied by x-ray diffraction techniques

Authors

MEDUŇA, Mojmír (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution), Ondřej CAHA (203 Czech Republic, belonging to the institution), Jiří RŮŽIČKA (203 Czech Republic, belonging to the institution), Silvie BERNATOVÁ (203 Czech Republic, belonging to the institution), Milan SVOBODA (203 Czech Republic) and Jiří BURŠÍK (203 Czech Republic)

Edition

Solid State Phenomena, Trans Tech Publications, 2011, 1012-0394

---

Other information

Language

English

Type of outcome

Článek v odborném periodiku

Field of Study

10302 Condensed matter physics

Country of publisher

Switzerland

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impact factor

Impact factor: 0.493 in 2005

RIV identification code

RIV/00216224:14740/11:00050319

Organization unit

Central European Institute of Technology

UT WoS

000303356300052

Keywords (in Czech)

Czochralského křemík; kyslíkové precipitáty; rtg Laueho difrakce

Keywords in English

Czochralski silicon; oxygen precipitates; x-ray Laue diffraction

Tags

ok

Tags

International impact, Reviewed

---

Abstract

V originále

We report on study of oxygen precipitates grown in Czochralski silicon wafers investigated by x-ray diffraction in Bragg reflection geometry and Laue transmission geometry.

In Czech

Cílem práce bylo studium kyslíkových precipitátů vyrostlých uvnitř desek Czochralského křemíku pomocí rtg difrakce v Braggově a Laueho geometrii na průchod.

---

Links

ED1.1.00/02.0068, research and development project	Name: CEITEC - central european institute of technology
GA202/09/1013, research and development project	Name: Nukleace a růst kyslíkových precipitátů v křemíku Investor: Czech Science Foundation, Nucleation and growth of oxygen precipitates in silicon
GP202/09/P410, research and development project	Name: Řízení elastického napětí v magnetických polovodičích Investor: Czech Science Foundation, Strain engineering in diluted magnetic semiconductors
MSM0021622410, plan (intention)	Name: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Physical and chemical properties of advanced materials and structures
MUNI/A/1047/2009, interní kód MU	Name: Struktura, elektronová struktura a optická odezva pokročilých materiálů Investor: Masaryk University, Category A