J 2011

Variable-angle spectroscopic ellipsometry of considerably non-uniform thin films

NEČAS, David, Ivan OHLÍDAL a Daniel FRANTA

Základní údaje

Originální název

Variable-angle spectroscopic ellipsometry of considerably non-uniform thin films

Název česky

Víceúhlová spektroskopická elipsometrie značně ne-uniformních tenkých vrstev

Autoři

NEČAS, David (203 Česká republika, garant, domácí), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika, domácí) a Daniel FRANTA (203 Česká republika, domácí)

Vydání

Journal of Optics, Bristol, IOP Publishing, 2011, 2040-8978

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10306 Optics

Stát vydavatele

Velká Británie a Severní Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

Impakt faktor

Impact factor: 1.573

Kód RIV

RIV/00216224:14310/11:00050732

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

DOI

UT WoS

000294294500018

Klíčová slova česky

elipsometrie; tenké vrstvy; neuniformita

Klíčová slova anglicky

ellipsometry; thin films; non-uniformity

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 20. 4. 2012 12:03, Ing. Andrea Mikešková

Anotace

V originále

A theoretical approach for including considerable thickness non-uniformity of thin films into the formulae employed within variable-angle spectroscopic ellipsometry is presented. It is based on a combination of the efficient formulae derived for the thickness distribution density corresponding to a wedge-shaped non-uniformity with dependences of the mean thickness and root mean square (rms) of thickness differences on the angle of incidence that take into account the real non-uniformity of the shape. These dependences are derived using momentum expansion of the thickness distribution density. The derived formulae are tested by means of numerical analysis. An application of this approach is illustrated using the optical characterization of a selected sample of non-uniform SiOxCyHz thin films using phase-modulated ellipsometry.

Návaznosti

ED1.1.00/02.0068, projekt VaV
Název: CEITEC - central european institute of technology
FT-TA5/114, projekt VaV
Název: Vývoj technologie vytváření PECVD vrstev pro výrobu automobilové světelné techniky
Investor: Ministerstvo průmyslu a obchodu ČR, Vývoj technologie vytváření PECVD vrstev pro výrobu automobilové světelné techniky
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek