Influence of DLC films on higher harmonic frequencies in capacitive discharges
| DVOŘÁK, Pavel, Vilma BURŠÍKOVÁ, Radek ŽEMLIČKA a Vojtěch HOMOLA. Influence of DLC films on higher harmonic frequencies in capacitive discharges. In IX. Workshop on Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics. 2011. |
|
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
| Základní údaje | |
|---|---|
| Originální název | Influence of DLC films on higher harmonic frequencies in capacitive discharges |
| Název česky | Vliv DLC vrstev na vyšší harmonické frekvence v kapacitních výbojích |
| Autoři | DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí), Radek ŽEMLIČKA (203 Česká republika) a Vojtěch HOMOLA (203 Česká republika, domácí). |
| Vydání | IX. Workshop on Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics, 2011. |
| Další údaje | |
|---|---|
| Originální jazyk | angličtina |
| Typ výsledku | Konferenční abstrakt |
| Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
| Stát vydavatele | Německo |
| Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
| Kód RIV | RIV/00216224:14310/11:00050416 |
| Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
| Klíčová slova česky | diamantu podobné vrstvy; kapacitně vázané výboje; vyšší harmonické frekvence; plazma |
| Klíčová slova anglicky | DLC; CCP; higher harmonic frequencies |
| Příznaky | Mezinárodní význam |
| Změnil | Změnil: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711. Změněno: 26. 1. 2012 14:11. |
| Anotace |
|---|
| Influence of creation or destruction of a DLC film on Fourier components of discharge voltage including higher harmonic frequencies is studied. Fourier components react sensitively on the film presence which can be explained as an influence of the coefficient of secondary electron emission on the electron concentration. |
| Anotace česky |
|---|
| Vliv vzniku nebo odleptání tekné DLC vrstvy v plazmatu na Fourierovy komponenty napětí a proudu. |
| Návaznosti | |
|---|---|
| GA202/07/1669, projekt VaV | Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích |
| Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích | |
| MSM0021622411, záměr | Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
| Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek | |
VytisknoutZobrazeno: 22. 7. 2024 23:33