Application of higher harmonic frequencies generated in RF plasmas for monitoring of deposition ...
DVOŘÁK, Pavel, Radek ŽEMLIČKA, Petr VAŠINA a Vilma BURŠÍKOVÁ. Application of higher harmonic frequencies generated in RF plasmas for monitoring of deposition processes. In Potential and Application of Nanotreatment of amedical Surfaces. 2011. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Application of higher harmonic frequencies generated in RF plasmas for monitoring of deposition processes |
Název česky | Aplikace vyšších harmonických frekvencí vznikajících ve vf. plazmatu pro monitorování depozičních procesů |
Autoři | DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant), Radek ŽEMLIČKA (203 Česká republika, domácí), Petr VAŠINA (203 Česká republika, domácí) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí). |
Vydání | Potential and Application of Nanotreatment of amedical Surfaces, 2011. |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | angličtina |
Typ výsledku | Konferenční abstrakt |
Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
Stát vydavatele | Česká republika |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Kód RIV | RIV/00216224:14310/11:00050417 |
Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
Klíčová slova česky | vyšší harmonické frekvence; kapacitně vázané výboje |
Klíčová slova anglicky | higher harmonic frequencies; capacitively coupled discharges |
Změnil | Změnil: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711. Změněno: 26. 1. 2012 14:23. |
Anotace |
---|
Higher harmonic frequencies of discharge voltage or current were analyzed and used for monitoring of various deposition techniques. It was shown that higher harmonics sensitively react on creation of a thin film, which can be used for simple monitoring of plasma processes. |
Anotace česky |
---|
Analýza vyšších harmonických frekvencí vznikajících ve vf. plazmatu s ohledem na jejich využití při monitorování plazmových procesů. |
Návaznosti | |
---|---|
GA202/07/1669, projekt VaV | Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích |
Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích | |
MSM0021622411, záměr | Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
VytisknoutZobrazeno: 12. 10. 2024 01:18