česky | in English
Název česky: Studium transportu ionizovaných částic v pulzním IPVD procesu
Název anglicky: Analysis of the Transport of Ionized Titanium Atoms in a Highly Ionized Sputter Deposition Process
RIV/00216224:14310/07:00022169 Článek v odborném periodiku. Fyzika plasmatu a výboje v plynech. angličtina. Spojené státy.
de Poucques, Ludovic (250 Francie) -- Imbert, Jean-Christophe (250 Francie) -- Boisse-Laporte, Carolline (250 Francie) -- Bretagne, Jean (250 Francie) -- Ganciu, Mihai (642 Rumunsko) -- Teulé-Gay, Lionel (250 Francie) -- Vašina, Petr (203 Česká republika, garant) -- Touzeau, Michel (250 Francie)
Klíčová slova anglicky: ambipolar difussion; charged particle transport; high power pulsed; magnetron sputtering
Mezinárodní význam: ano
Recenzováno: ano
Změnil: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782. Změněno: 27. 3. 2010 09:41.