Diplomová práce

Studium chování hybridního PVD-PECVD procesu

Behaviour of hybrid PVD-PECVD process

Bc. Tereza Schmidtová, učo 151253
Anotace

Tato práce je věnována studiu reaktivního magnetronového naprašování pomocí experimentálních diagnostických metod a také pomocí teoretického modelování. Popsány jsou fyzikální principy rozprašování a základní metody diagnostiky. Za účelem pochopení nehomogenity rozprašování a transportu rozprášených částic na substrát byla provedena měření pomocí LIF. Je prezentován vylepšený numerický model vycházející …více

Abstract

This work is dedicated to the study of reactive magnetron sputtering by experimental diagnostic methods and also by theoretical modelling. Physical principles of sputtering and basic diagnostic methods are presented. Experimental study by LIF was conducted to understand the non-uniformity of the sputtering and the transport of sputtered metal atoms towards a substrate. An improved numerical model based …více

Klíčová slova
reaktivní magnetronové naprašování hystereze diagnostika modelování reactive magnetron sputtering hysteresis diagnostics modelling
Zadání práce
Hlavním cílem této práce bude vyšetření hysterezního chování a nestabilit provázejících reaktivní magnetronové naprašování, zejména pak, je-li použito více reaktivních plynů současně. Zaměříme se na studium procesů probíhajících při depozici tvrdých ochranných vrstev a-BCN:H. Bude řešen konkrétní případ, kdy často používaný zdroj uhlíku - rozprašování uhlíkového terče - bude nahrazen přímým dodáváním plynného uhlovodíku do depozičního reaktoru. Bude tedy studován proces přípravy BCN vrstev, kdy bórová katoda bude rozprašována v reaktivní atmosféře tvořené argonem, dusíkem a plynným uhlovodíkem. Bude studován vliv pracovního tlaku a poměru průtoků jednotlivých plynů na chování tohoto hybridního PVD-PECVD (Physical Vapor Deposition-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) procesu. Při řešení této práce se také pokusíte pozorované chování depozičního procesu namodelovat.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
17. 5. 2009 17:30, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
Plný text práce
2,4 MB / soubor PDF
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
11. 6. 2009
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.