Diplomová práce

Studium růstu grafénových vrstvem metodou chemické depozice z plynné fáze

Study of graphene growth by chemical vapour deposition method

Bc. Daniel Burda
Anotace

Tato práce se věnuje syntéze grafénu pomocí metody chemické depozice z plynné fáze a chemické depozice z plynné fáze z použitím plazmatu. Také je studován vliv čistoty substrátů na syntézu. Grafén je deponován zejména na měděné fólie, ale také na dielektrické substráty. Dále je studováno použití atmosférického dielektrického bariérového výboje a radio frekvenčního kapacitně vázaného doutnavého výboje …více

Abstract

This thesis focuses on synthesis of graphene by chemical vapor deposition and by plasma-assisted chemical vapor deposition. The influence of substrates cleanliness on the synthesis used is also investigated. The graphene is deposited on mainly copper foils, but also on dielectric substrates. The use of atmospheric dielectric barrier discharge and radio-frequency capacitively-coupled glow discharge …více

Klíčová slova
Grafén Chemická depozice z plynné fáze CVD APCVD Plazmová úprava Dielektrický bariérový výboj DCSBD Radiofrekvenčně buzený nízkotlaký kapacitně vázaný výboj RF CCP Pochodňový výbo Graphene Chemical Vapour deposition Plasma treatment Dielectric barrier discharge RF Power Generated Low-pressure Capacitively Coupled Plasma Plasma Torch
Zadání práce
Cílem diplomové práce je studium přípravy grafénových vrstvev metodou chemické depozice z plynné fáze a vlivu plazmatu při ošetření substrátů před samotnou depozicí tak i během růstu grafénu. Budou zkoumány možnosti snížení depoziční teploty grafénu a depozice na dielektrické substráty za a bez přítomnosti katalytických vrstev. Připravené vrstvy budou analyzovány optickou a elektronovou mikroskopií, Ramanovskou spektroskopií a rentgenovou fotoelektronovou spektroskopií. V závislosti na výsledcích depozičního procesu budou zkoumány elektrické, mechanické a chemické vlastnosti připravených vrstev.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
8. 1. 2019 08:55, Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D., učo 8533
Plný text práce
15,5 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
6. 2. 2019
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D., učo 8533
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Mgr. Marek Eliáš, Ph.D.
TPN CNMT CEITEC MU

Literatura

  • Physics and chemistry of graphene : graphene to nanographene. Edited by Toshiaki Enoki - Tsuneya Andō. Singapore: Pan Stanford Publishing, 2013, xv, 460. ISBN 9789814241489.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.