Disertační práce

Optická diagnostika poruch v křemíku

Optical charakterization of defects in silicon

Mgr. Richard Štoudek, učo 11284
Anotace

Disertační práce se zabývá optickou diagnostikou poruch v mříži křemíku. Monokrystalický Si stále zůstává nejpoužívanějším materiálem polovodičového průmyslu. Naším cílem bylo pomocí infračervené absorpční spektroskopie studovat jednak některé bodové defekty (intersticiální kyslík, substituční uhlík, dusík) v Czochralskiho i zonálním křemíku, ale i nebodové poruchy, které vznikají žíháním pouze v Czochralskiho …více

Abstract

In this dissertation we deal with optical diagnostics of defects in silicon lattice. Single-crystal Si still stays the most used material of semiconductor industry. Our goal was to use the infrared absorption to study point defects (interstitial oxygen, substitutional carbon, nitrogen) in the Czochralski and floating-zone silicon, and also other defects resulting from annealing in Czochralski silicon …více

Klíčová slova
křemík intersticiální kyslík substituční uhlík dusík kyslíkové precipitáty Czochralskiho metoda infračervená spektroskopie silicon interstitial oxygen substitutional carbon nitrogen oxygen precipitates Czochralski method infrared spectroscopy
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
11. 10. 2008 13:03, (IS automaticky)
Plný text práce
19,3 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
30. 9. 2008
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc., učo 307
ÚFKL Fyz PřF MU

Oponenti

Mgr. Jan Šik, Ph.D.
On Semiconductor Czech Republic, s.r.o., Rožnov pod Radhoštěm
Mgr. Filip Kadlec, Dr.
Fyzikální ústav AV ČR Praha
Autor posudku dosud neidentifikován.
Autor posudku dosud neidentifikován.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika (čtyřleté)
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.