Bakalářská práce

Simulace transportu par kovu v magnetronovém naprašování metodou Direct simulation Monte Carlo

Vapor transport simulation in magnetron sputtering using Direct simulation Monte Carlo

Radoslav Brunovský
Anotace

Cílem této práce je stanovit, jak zásadní jsou vlivy vstupních parametrů na výsledky simulace. V této práci je zkoumán vliv vstupních parametrů na výsledky Test Partcile Monte Carlo simulace transportu par kovů v magnetronovém naprašování. Vliv vstupních parametrů je zkoumán One-at-a-time a Morrisovou citlivostní analýzou a nakonec jsou dosažené výsledky TPMC simulace porovnány s Direct Simulation …více

Abstract

Aim of this thesis is to determine how influential are input parameters on the results of simulation. In this thesis we study effects of input parameters on the results of Test Particle Monte Carlo simulation of vapor transport in magnetron sputtering. The effects of input parameters are studied through One-at-a-time and Morris sensitivity analysis and the results of TPMC simulations are compared with …více

Klíčová slova
Direct Simulation Monte Carlo Test Particle Monte Carlo Magnetronové naprašování Citlivostní analýza Transport par kovu Magnetron sputtering Sensitivity analysis Vapor transport
Zadání práce
Magnetronové naprašování patří v současné době mezi jednu z nejvíce rozšířených metod pro přípravu supertvrdých, vodivých nebo optických vrstev. Přesto není zdaleka běžné používat při návrhu těchto procesů numerické simulace. To je způsobeno jednak jejich vysokou výpočetní náročností a jednak tím, že není dobře prozkoumána citlivost těchto modelů na mnohdy neznámé fitovací parametry. Student vytvoří DSMC (Direct-simulation Monte-Carlo) či TPM (test particle model) model transportu par v průmyslové naprašovací komoře. Následně provede citlivostní analýzu výsledků modelu vzhledem k jeho parametrům (hmotnost prvku, efektivní průměr částice, koeficient viskozity) a také vzhledem k použitému srážkovému modelu (hard sphere, variable hard sphere, M1 model). Studentovi bude za účelem vypracování práce poskytnuta licence software PlasmaSolve DSMC založeného na open-source frameworku OpenFOAM.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
15. 6. 2021 12:22, Mgr. Adam Obrusník, Ph.D., učo 356468
Plný text práce
6,6 MB / soubor PDF
Jazyk práce
slovenština slovenština
Termín obhajoby
12. 7. 2021
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

Mgr. Adam Obrusník, Ph.D., učo 356468
DMP ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Mgr. Peter Klein, Ph.D., učo 269740
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU

Konzultant

Mgr. Petr Zikán, Ph.D.
ÚTFA Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.