Doctoral thesis

Plasma Enhanced CVD of Multicomponent Functional Coatings

Mihai George Muresan, M.Sc.
Abstract

Práce je věnována studiu depozice tenkých vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD). Zkoumány byly dva druhy vrstev: diamantu podobné (DLC) vrstvy a SiOx vrstvy. Cílem bylo připravit tvrdé ochranné vrstvy s nízkým otěrem, nízkým koeficientem tření a s dobrou přilnavostí k ocelovému substrátu. DLC vrstvy byly na ocelový substrát připraveny jednak úpravou DLC struktur přidáním dusíku …more

Abstract

This thesis presents an investigation into plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) of thin films. Two film types were investigates: diamond-like (DLC) and silicon oxide (SiOx) films. The goal was to prepare hard protective coatings, with low wear and friction coefficient and with good adhesion to steel substrates. A modification of the DLC structure by nitrogen addition or the use of an interlayer …more

Keywords
PECVD DLC uhlík tribologické vlastnosti mechanické vlastnosti SiOx mezivrstev ocel carbon tribological properties mechanical properties interlayer steel
Administrative information
The thesis has been checked:
13/11/2015 00:24, prof. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., UČO 1414
Full text of thesis
6,9 MB / file PDF
Language used
English English
Defence date
14/12/2015
The thesis was defended successfully

Supervisor

prof. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., UČO 1414
ÚFTP Fyz PřF MU

Readers

Prof. hab. dr. Sigitas Tamulevičius
Kaunas University of Technology, Lithuania
doc. Ing. Andrey Shukurov, Ph.D.
MFF UK, Praha
Cite this text
Masaryk University Faculty of Science
Programme
Physics (4-years)
Field of Study

Theses on a related topic

List of theses with an identical keyword.

Similar documents

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.