Závěrečná práce: Tomáš Novotný: Plazmochemická depozice nanostrukturovaných diamantupodobných tenkých vrstev
Bakalářská práce
Plazmochemická depozice nanostrukturovaných diamantupodobných tenkých vrstev
Plasma deposition of nanostructured diamond-like carbon films
Tomáš Novotný
Anotace
Ve své bakalářské práci jsem se zaměřil na studium fyzikálních vlastností diamantupodobných vrstev připravených plazmochemickou depozicí z plynné fáze. Zkoumal jsem jejich mechanické a optické vlastnosti. Zároveň seznamuji člověka, který projevil zájem o tuto oblast vědy, s promblematikou depozic a metod určování vlastností tenkých vrstev.
Abstract
In the present work I study physical properties of diamond-like carbon layers prepared by plasma enchanced chemical vapour deposition. I study their mechanical and optical properties. And also I introduce someone, who is interested in this part of science, to mechanism of deposition and methods of analyses of thin layers.
Klíčová slova
depozice tenké vrstvy metody analýzy deposition thin layers methods of analysis DLC PECVDZadání práce
Plazmochemická depozice vrstev z plynné fáze (PECVD) skýtá zajímavé možnosti z hlediska přípravy nových materiálů. Změnou parametrů výboje je možné podstatně ovlivnit podmínky depozice, a tím i vlastnosti připravených vrstev. Úkolem práce je nanášet tenké diamantu-podobné uhlíkové vrstvy ve vysokofrekvenčním nízkotlakém výboji metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD) a charakterizovat vrstvy z hlediska mechanických, povrchových a optických vlastností.
Práce zkontrolována:
26. 5. 2010 10:12, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418
26. 5. 2010 10:12, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418
- Zadáno/změněno 28. 6. 2010 12:14, Jindřiška Chlebečková
- Záznam založen 9. 2. 2009 10:41, Irena Mitášová
- Zveřejnit od 25. 5. 2009 13:22, Irena Mitášová
- Práce převzata 25. 5. 2009 13:22, Irena Mitášová
Jazyk práce
čeština
Termín obhajoby
25. 6. 2010
Práce byla úspěšně obhájena
Vedoucí
Literatura
- KULISCH, Wilhelm A. M. Deposition of diamond-like superhard materials. Berlin: Springer-Verlag, 1999, vii, 191. ISBN 3540656294.
Studijní program
Fyzika
Práce na příbuzné téma
Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.
-
Studium mechanických vlastností tenkých vrstev
Mgr. Tomáš Novotný -
Studium depozice hydrofilních tenkých vrstev metodou PECVD za atmosférického tlaku
Mgr. Michal Štipl -
Plazmochemická depozice mědí dopovaných tenkých vrstev na bázi uhlíku
Bc. Martin Karkuš -
Depozice vrstev organických molekul metodou Langmuira-Blodgettové
Mgr. Klára Suchánková -
Deposition of hydrocarbon thin films in plasma and study of their properties
Mgr. Miroslav Valtr, Ph.D., učo 13715 -
Plazmochemická depozice vrstev vhodných pro aplikaci na lékařské implantáty
Bc. Peter Repiščák -
Depozice tenkých vrstev ve výbojích za atmosférického tlaku
doc. RNDr. Filip Studnička, Ph.D., učo 175867 -
In situ studium růstu a leptání tenkých vrstev v nízkotlakých vysokofrekvenčních kapacitně vázaných výbojích
Mgr. Radek Žemlička, Ph.D., učo 270180
Název
Vložil
Vloženo
Práva
Archiv závěrečné práce Tomáš Novotný PřF B-FY UF, UM noqzj/6
Novotný, T.
22. 5. 2009
Složky
Soubory
-
Přidání souboru
Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat. -
Další operace se soubory
Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku. -
Pohled pro experty
Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností. -
Vyhledávání souborů
Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku. -
Rychlý přístup k souborům
Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.