Diplomová práce

In situ studium růstu a leptání tenkých vrstev v nízkotlakých vysokofrekvenčních kapacitně vázaných výbojích

In situ study of thin film growth a etching in low pressure rf capacitive discharges

Bc. Radek Žemlička, učo 270180
Anotace

V této diplomové práci se věnujeme efektu procesů růstu a leptání tenkých vrstev na Fourierovy složky výbojového napětí a hledáme jejich využití pro in-situ monitorování plazmových procesů.

Abstract

In this thesis we study the effect of etching and growth processes of thin layers on the Fourier components of discharge voltage and seek to use them for in-situ monitoring of plasma processesing.

Klíčová slova
plazma diagnostika harmonické frekvence leptání depozice vysokofrekvenční výboj plasma diagnostics harmonics frequency etching deposition RF discharge
Zadání práce
Cílem práce bude in-situ studovat růst a leptání tenkých vrstev a efekt těchto procesů na Fourierovy složky výbojového napětí. Hlavní důraz bude kladen na studium chování Fourierovských složek včetně vyšších harmonických frekvencí v průběhu růstu a leptání tenkých vrstev v nízkotlakých vysokofrekvenčních kapacitně vázaných výbojích. Cílem je ukázat, že vyšší harmonické frekvence je možné využít pro monitorování procesů depozic, leptání a vzniku prachu ve výboji a popsat souvislost jejich průběhu s průběhem parametrů výboje.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
15. 5. 2012 08:24, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711
Plný text práce
2,4 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
12. 6. 2012
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.

Konzultant

doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.