Bakalářská práce

Plazmochemická depozice mědí dopovaných tenkých vrstev na bázi uhlíku

Plasma chemical deposition of carbon-based thin films doped by copper

Martin Karkuš
Anotace

Tato bakalářská práce je zaměřená na vytvoření mědí dopovaných tenkých vrstev na bázi uhlíku pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze. Tenké vrstvy byly deponované v~kapacitně vázaném plazmatu radiofrekvenčního doutnavého výboje ve směsi metanu a~prekurzoru (hfcac)copperVTMS, přičemž prekurzor byl probubláván argonem. Pro nalezení optimálních depozičních podmínek byly použity kombinace tří depozičních …více

Abstract

This bachelor thesis is focused on preparing copper-doped carbon-based thin films using plasma-enhanced chemical vapour deposition. Thin films were deposed in capacity-coupled plasma of radio-frequency discharge in a blend of methane and precursor (hfac)-copperVTMS, where the precursor was bubbled using argon. In order to find optimal deposition parameters, combinations of three power settings and …více

Zadání práce
Bakalářská práce se bude věnovat vývoji a analýze tenkých vrstev deponovaných v reaktivním kapacitně vázaném plazmatu za sníženého tlaku. Pro depozici tenkých vrstev bude využit organometalický prekurzor (hfac-copperVTMS), který má potenciál k dalšímu zkoumání a vývoji nových typů tenkých vrstev. Hlavním cílem práce je parametrická studie deponovaných vrstev v závislosti na příkonu dodávaného do plazmatu a kombinaci různých poměrů plynů. Tenké vrstvy budou deponovány v kombinaci tohoto prekurzoru a metanu (případně bude tato kombinace doplněna o vodík). Přičemž kombinace par prekurzoru a těchto plynů by měla vést k depozici mědí dopovaných diamantu podobných tenkých vrstev, které by mohli vykazovat antibakteriální vlastnosti při zachování dostatečné odolnosti tenkých vrstvev. Ke studiu vlastností tenkých vrstev bude použita široká škála analytických přístrojů jako jsou například: mikroskop atomárních sil, zařízení na určení povrchové energie, nanoindentor, konfokální mikroskop, profilometr a další. Při vypracování bakalářské práce získá student komplexní znalosti o depozici tenkých vrstev a vlivu parametrů depozice na jejich vlastnosti.
Práce zkontrolována:
14. 5. 2024 12:00, Mgr. Roman Přibyl, Ph.D.
Plný text práce
10,9 MB / soubor PDF
Jazyk práce
slovenština slovenština
Termín obhajoby
24. 6. 2024
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

Mgr. Roman Přibyl, Ph.D.
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D., učo 8533
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU

Konzultanti

doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU
Mgr. Štěpánka Kelarová, Ph.D., učo 376143
DTVN ÚFTP Fyz PřF MU

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.
  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.
  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.
  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.
  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.