Závěrečná práce: Martin Karkuš: Plazmochemická depozice mědí dopovaných tenkých vrstev na bázi uhlíku
Bakalářská práce
Plazmochemická depozice mědí dopovaných tenkých vrstev na bázi uhlíku
Plasma chemical deposition of carbon-based thin films doped by copper
Anotace
Tato bakalářská práce je zaměřená na vytvoření mědí dopovaných tenkých vrstev na bázi uhlíku pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze. Tenké vrstvy byly deponované v~kapacitně vázaném plazmatu radiofrekvenčního doutnavého výboje ve směsi metanu a~prekurzoru (hfcac)copperVTMS, přičemž prekurzor byl probubláván argonem. Pro nalezení optimálních depozičních podmínek byly použity kombinace tří depozičních …více
Abstract
This bachelor thesis is focused on preparing copper-doped carbon-based thin films using plasma-enhanced chemical vapour deposition. Thin films were deposed in capacity-coupled plasma of radio-frequency discharge in a blend of methane and precursor (hfac)-copperVTMS, where the precursor was bubbled using argon. In order to find optimal deposition parameters, combinations of three power settings and …více
Zadání práce
14. 5. 2024 12:00, Mgr. Roman Přibyl, Ph.D.
Práce na příbuzné téma
Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.
-
Organosilicon coatings based on trimethylsilyl acetate monomer prepared using plasma of RF capacitively coupled glow discharge
Mgr. Štěpánka Kelarová, Ph.D., učo 376143 -
Charakterizace TiAlON povlaků připravených technikou magnetronového naprašování buzeného pulzy velkého výkonu
Bc. Jakub Motl -
Deposition of hydrocarbon thin films in plasma and study of their properties
Mgr. Miroslav Valtr, Ph.D., učo 13715 -
Způsoby studia a ovlivnění mechanických vlastností buněk
Mgr. Veronika Jančaříková -
Plazmochemická depozice vrstev vhodných pro aplikaci na lékařské implantáty
Bc. Peter Repiščák -
Studium biomechaniky buněk s použitím AFM nanoindentace
Mgr. Zuzana Bertová, učo 395409 -
Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev
Mgr. Roman Přibyl, Ph.D. -
PECVD Deposition of Thin Films and Study of Material Influence on Plasma Parameters
Mgr. Roman Přibyl, Ph.D.




