Diplomová práce

Diagnostika procesu plazmové syntézy nanomateriálu

DIagnostics of plasma synthesis of nanomaterial

Bc. Miroslav Šnírer
Anotace

Tato diplomová práce se zabývá diagnostikou PECVD procesu plazmové syntézy nanočástic na bázi železa v kyslíkovém a argonovém nízkoteplotním nízkotlakém plazmatu. Vlastnosti plazmy byly zkoumány pomocí optických a interferometrických metod. Pomocí inverzní Abelovy transformace bylo stanoveno prostorové rozložení záření odpovídající charakteru výboje s povrchovou vlnou. Z optických emisních spekter …více

Abstract

This diploma thesis deals with diagnostics of the PECVD process of iron-based nanoparticles synthesis in oxygen and/or argon low temperature, low pressure plasma. Main parameteres were determined by optical and interferometric methods. Radial distribution of optical radiation was determined via inverse Abel transform which corresponds to the nature of surface wave discharge. Several important parameters …více

Klíčová slova
Plasma Synthesis Optical Emission Spectroscopy Interferometry Iron Pentacarbonyl Nanoparticles Iron Oxides Plasma Diagnostics Imaging Photography Surace Wave Discharge Metastables EBF PECVD HF Plazmová syntéza Optická emisní spektroskopie Interferometrie Pentakarbonyl železa Nanočástice Oxidy železa Diagnostika plazmy Obrazová analýza Fotografia Výboj s~povrchovou vlnou Metastabily
Zadání práce
Úkolem je provést diagnostiku procesu syntézy nanomateriálu v plazmatu několika metodami, zejména optickou emisní spektroskopií a mikrovlnnou interferometrií. Cílem je určit významné parametry plazmatu, jako je koncentrace a teplota elektronů, chemické složení, teplota plynu apod. Tato měření budou prováděna v různých místech výboje aby se získalo prostorové rozložení. Výsledky budou korelovány s experimentálními podmínkami a s materiálovými analýzami připravených nanomateriálů. V této diplomové práci půjde o nanomateriály na bázi železa a jeho oxidů.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
13. 5. 2016 15:37, prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D., učo 2560
Plný text práce
17,8 MB / soubor PDF
Přílohy (1)
Jazyk práce
slovenština slovenština
Termín obhajoby
13. 6. 2016
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D., učo 2560
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.