Diplomová práce

Vyšší harmonické frekvence kapacitně vázaných výbojů

Higher harmonic frequencies in capacitively coupled discharges

Bc. Maroš Tkáčik
Anotace

Tato diplomová práce se věnuje vyšším harmonickým frekvencím průběhu plazmového potenciálu v kapacitně vázaném výboji. Kvůli měření plazmového potenciálu nekompenzovanou sondou, je za potřebí mít teoretický model stěnové vrstvy kolem ní. Práce je zaměřená na zkoumání vlastností tohoto modelu a dějů ovlivňujících amplitudy vyšších harmonických frekvencí.

Abstract

This thesis is concerned with higher harmonic frequencies of plasma potential waveforms in capacitively coupled discharge. For plasma potential measurement by uncompensated probe it is necessary to have theoretic model of sheath around it. Thesis is focused on study of model properties and effects influencing amplitudes of higher harmonic frequencies.

Klíčová slova
Kapacitně vázaný výboj Vyšší harmonické frekvence Nekompenzovaná sonda Stěnová vrstva Plazmový potenciál Capacitively coupled discharge Higher harmonic frequencies Uncompensated probe Sheath Plasma potential
Zadání práce
Kapacitně vázané výboje jsou díky své nelinearitě zdrojem vyšších harmonických frekvencí napětí a proudu. Tyto vyšší frekvence vykazují citlivou závislost na parametrech plazmatu, ovlivňují výboj a~rozšiřují možnosti diagnostiky plazmatu. Úkolem této práce je studium vyšších harmonických frekvencí generovaných plazmatem nízkotlakých vysokofrekvenčních výbojů. K tomu je potřeba realizovat elektrická, zejména sondová měření těchto frekvencí za různých podmínek v plazmatu, příp. v různých typech výbojů s kapacitní vazbou. Dále je možné rozpracovat teoretický model plazmatu obsahující nelineární elektrické chování stěnové vrstvy.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
12. 5. 2016 08:55, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711
Plný text práce
9,5 MB / soubor PDF
Jazyk práce
slovenština slovenština
Termín obhajoby
13. 6. 2016
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D., učo 2560

Konzultanti

prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D., učo 2560
ÚFTP Fyz PřF MU
doc. Mgr. Zdeněk Navrátil, Ph.D., učo 3323
ÚFTP Fyz PřF MU
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.