Bakalářská práce

Studium a úprava povrchů elektronovým mikroskopem

Study and modification of surfaces by electron microscopy

Filip Werl
Anotace

Práce se zabývá přípravou elektronických součástek fokuzovaným iontovým svazkem v elektronovém mikroskopu Quanta 3D 200i.

Abstract

This thesis deals with preparation of electronic devices using focused ion beam of electron microscope Quanta 3D 200i.

Klíčová slova
mikroskopie SEM FIB příprava součástek rezistory odpor microscopy device preparation resistors resistance
Zadání práce
Elektronová mikroskopie je zobrazovací metodou pro zviditelnění struktury povrchu s mikrometrovým až nanometrovým rozlišením. Tato technika využívá vysoce sofistikovaná zařízení, která se postupně stávají běžnou součástí hi-tech laboratoří. Pokud mikroskop obsahuje i kolonu s iontovým svazkem, pak je možné též provádět povrchové úpravy. Úkolem bakalářské práce bude studium povrchu polovodičů a dalších materiálů elektronovým mikroskopem typu SEM a úprava povrchů metodou FIB. Práce bude provedena ve spolupráci s firmou FEI na mikroskopu FEI Quanta.
Administrativní informace
Práce zkontrolována:
19. 5. 2017 11:55, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D., učo 855
Plný text práce
81,5 MB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
26. 6. 2017
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D., učo 855
FVN CNMT CEITEC MU

Oponent

RNDr. Alois Nebojsa, učo 2222
Citovat tuto práci
Masarykova univerzita Přírodovědecká fakulta
Studijní program
Fyzika
Obor

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.

Podobné práce

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.