Experimental study of DC driven hybrid PVD-PECVD process

SCHMIDTOVÁ, Tereza; Pavel SOUČEK a Petr VAŠINA. Experimental study of DC driven hybrid PVD-PECVD process. In Thirteenth International Conference on Plasma Surface Engineering. 2012.

Základní údaje

Originální název

Experimental study of DC driven hybrid PVD-PECVD process

Autoři

SCHMIDTOVÁ, Tereza; Pavel SOUČEK a Petr VAŠINA

Vydání

Thirteenth International Conference on Plasma Surface Engineering, 2012

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Německo

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/12:00057670

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

hybrid PVD-PECVD; magnetron sputtering; diagnostics

Štítky

AKR, rivok

---

Anotace

V originále

Evolution of basic deposition plasma parameters such as discharge voltage and current, total pressure and selected spectral emission line intensities as a function of acetylene supply flow is reported and correlated with the evolution of the state of the target.

---

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV	Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GAP205/12/0407, projekt VaV	Název: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev Investor: Grantová agentura ČR, Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
GD104/09/H080, projekt VaV	Název: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace