Numerical simulation of large area microwave plasma system for deposition of nanocrystalline diamond films

OBRUSNÍK, Adam; Zdeněk BONAVENTURA; Štěpán POTOCKÝ a Alexander KROMKA. Numerical simulation of large area microwave plasma system for deposition of nanocrystalline diamond films. In P. G. C. Almerida, L. L. Alves, V. Guerra. XXI Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases Proceedings. Lisboa: European Physical Society, 2012, 2 s. ISBN 2-914771-74-6.

Základní údaje

Originální název

Numerical simulation of large area microwave plasma system for deposition of nanocrystalline diamond films

Autoři

OBRUSNÍK, Adam; Zdeněk BONAVENTURA; Štěpán POTOCKÝ a Alexander KROMKA

Vydání

Lisboa, XXI Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases Proceedings, 2 s. 2012

Nakladatel

European Physical Society

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ne

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

2-914771-74-6

Klíčová slova česky

metoda konečných prvků, simulace, plazma, NCD, mikrovlnné plazma, vodíkové plazma

Klíčová slova anglicky

finite element method, simulation, plasma, NCD, microwave plasma, hydrogen plasma

---

Návaznosti

GAP205/12/0908, interní kód MU

Název: Pokročilý experimentální výzkum mikrovlnného plazmového systému pro přípravu velkoplošných nanodiamantových vrstev Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilý experimentální výzkum mikrovlnného plazmového systému pro přípravu velkoplošných nanodiamantových vrstev