a 2012

Hybrid PVD-PECVD Process for Synthesis of Me/C Nanocomposite Coatings

VAŠINA, Petr; Tereza SCHMIDTOVÁ a Pavel SOUČEK

Základní údaje

Originální název

Hybrid PVD-PECVD Process for Synthesis of Me/C Nanocomposite Coatings

Autoři

Vydání

NANOCON 2012, 2012

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/12:00057712

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

hybrid PVD-PECVD process; nanocomposite coatings; Me/C

Štítky

Změněno: 23. 4. 2013 09:32, Ing. Andrea Mikešková

Anotace

V originále

Hybrid PVD-PECVD process of titanium sputtering in argon and acetylene has been used for deposition of nanocomposite material consisting of nanocrystallites of titanium carbide embedded in hydrogenated carbon matrix. nc-TiC/a-C:H layers showed promising combination of properties such as high hardness and Young’s modulus with low friction and wear making it an industrially attractive material for protective coatings and tribological applications. Hybrid PVD-PECVD process that combines aspects of both conventional techniques: sputtering of titanium target (PVD) and acetylene as a source of carbon for polymerization (PECVD) was studied. The aim of this contribution is to describe and understand elementary processes influencing the hybrid PVD-PECVD process. We report a non-monotonous evolution of cathode voltage and current, total pressure and spectral line intensities on acetylene supply flow. We propose an explanation of non-monotonous evolutions through the analysis of the target state. We correlate process characteristics and coating properties.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GAP205/12/0407, projekt VaV
Název: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
GD104/09/H080, projekt VaV
Název: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace