Space-filling arrays of three-dimensional epitaxial Ge and
Si1-xGex crystals

D 2012

Space-filling arrays of three-dimensional epitaxial Ge and Si1-xGex crystals

FALUB, C.V.; F. ISA; T. KREILIGER; R. BERGAMASCHINI; A. MARZEGALLI et. al.

Základní údaje

Originální název

Space-filling arrays of three-dimensional epitaxial Ge and Si1-xGex crystals

Název česky

Prostor vypňující pole třídimenzionálních epitaxních Ge a Si1-xGex krystalů

Autoři

Vydání

Berkeley, CA, 2012 International Silicon-Germanium Technology and Device Meeting, ISTDM 2012 - Proceedings, od s. 60-61, 2 s. 2012

Nakladatel

EEE eXpress Conference Publishing

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Forma vydání

tištěná verze "print"

Kód RIV

RIV/00216224:14740/12:00068032

Organizační jednotka

Středoevropský technologický institut

ISBN

978-1-4577-1862-5

DOI

https://doi.org/10.1109/ISTDM.2012.6222457

Klíčová slova česky

křemík; heteroepitaxe; rtg difrakce

Klíčová slova anglicky

silicon; heteroepitaxy; x-ray diffraction

Štítky

AKR, nk, rivok

Příznaky

Mezinárodní význam

Změněno: 30. 4. 2014 04:22, Olga Křížová

Anotace

ORIG CZ

V originále

The crystalline quality, tilt and strain of the Ge and Si1-xGex crystals were investigated by high resolution X-ray diffraction.

Česky

Krystalová kvalita, sklon a deformace Ge a Si1-xGex krystalů byla studována pomocí rtg difrakce s vysokým rozlišením.

Návaznosti

ED1.1.00/02.0068, projekt VaV

Název: CEITEC - central european institute of technology

MSM0021622410, záměr

Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur

Citovat

FALUB, C.V.; F. ISA; T. KREILIGER; R. BERGAMASCHINI; A. MARZEGALLI; A.G. TABOADA; D. CHRASTINA; G. ISELLA; E. MÜLLER; P. NIEDERMANN; A. DOMMANN; A. NEELS; A. PEZOUS; Mojmír MEDUŇA; L. MIGLIO a Hans VON KÄNEL. Space-filling arrays of three-dimensional epitaxial Ge and Si1-xGex crystals. In Tsu Jae King Liu. 2012 International Silicon-Germanium Technology and Device Meeting, ISTDM 2012 - Proceedings. Berkeley, CA: EEE eXpress Conference Publishing, 2012, s. 60-61. ISBN 978-1-4577-1862-5. Dostupné z: https://doi.org/10.1109/ISTDM.2012.6222457.

@inproceedings{1094560,
   author = {Falub, C.V. and Isa, F. and Kreiliger, T. and Bergamaschini, R. and Marzegalli, A. and Taboada, A.G. and Chrastina, D. and Isella, G. and Müller, E. and Niedermann, P. and Dommann, A. and Neels, A. and Pezous, A. and Meduňa, Mojmír and Miglio, L. and von Känel, Hans},
   address = {Berkeley, CA},
   booktitle = {2012 International Silicon-Germanium Technology and Device Meeting, ISTDM 2012 - Proceedings},
   doi = {https://doi.org/10.1109/ISTDM.2012.6222457},
   editor = {Tsu Jae King Liu},
   keywords = {silicon; heteroepitaxy; x-ray diffraction},
   howpublished = {tištěná verze "print"},
   language = {eng},
   location = {Berkeley, CA},
   isbn = {978-1-4577-1862-5},
   pages = {60-61},
   publisher = {EEE eXpress Conference Publishing},
   title = {Space-filling arrays of three-dimensional epitaxial Ge and Si1-xGex crystals},
   year = {2012}
}

TY  - CONF
ID  - 1094560
AU  - Falub, C.V. - Isa, F. - Kreiliger, T. - Bergamaschini, R. - Marzegalli, A. - Taboada, A.G. - Chrastina, D. - Isella, G. - Müller, E. - Niedermann, P. - Dommann, A. - Neels, A. - Pezous, A. - Meduňa, Mojmír - Miglio, L. - von Känel, Hans
PY  - 2012
TI  - Space-filling arrays of three-dimensional epitaxial Ge and Si1-xGex crystals
PB  - EEE eXpress Conference Publishing
CY  - Berkeley, CA
SN  - 9781457718625
KW  - silicon
KW  - heteroepitaxy
KW  - x-ray diffraction
N2  - The crystalline quality, tilt and strain of the Ge and Si1-xGex crystals were investigated by high resolution X-ray diffraction.
ER  -

FALUB, C.V.; F. ISA; T. KREILIGER; R. BERGAMASCHINI; A. MARZEGALLI; A.G. TABOADA; D. CHRASTINA; G. ISELLA; E. MÜLLER; P. NIEDERMANN; A. DOMMANN; A. NEELS; A. PEZOUS; Mojmír MEDUŇA; L. MIGLIO a Hans VON KÄNEL. Space-filling arrays of three-dimensional epitaxial Ge and Si1-xGex crystals. In Tsu Jae King Liu. \textit{2012 International Silicon-Germanium Technology and Device Meeting, ISTDM 2012 - Proceedings}. Berkeley, CA: EEE eXpress Conference Publishing, 2012, s.~60-61. ISBN~978-1-4577-1862-5. Dostupné z: https://doi.org/10.1109/ISTDM.2012.6222457.

Přehled o publikaci