2013
Calculation of higher harmonic frequencies generated in capacitively coupled discharges
DVOŘÁK, PavelZákladní údaje
Originální název
Calculation of higher harmonic frequencies generated in capacitively coupled discharges
Název česky
Počítání vyšších harmonických frekvencí generovaných v kapacitně vázaných výbojích
Autoři
Vydání
31st International Conference on Phenomena in Ionized Gases - conference proceedings, 2013
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Konferenční abstrakt
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/13:00068905
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova česky
plazma; kapacitně vázané výboje; vyšší harmonické frekvence; stěnová vrstva; elektrické vlastnosti
Klíčová slova anglicky
plasma; capacitively coupled discharges; higher harmonic frequencies; sheaths; electric characteristics
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 2. 11. 2016 15:00, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
V originále
Capacitively coupled discharge was modeled as a series combination of two nonlinear sheaths, a bulk plasma and a RF generator. This equivalent circuit was used for calculation of electric characteristics of capacitively coupled discharges including the spontaneous generation of higher harmonic frequencies of discharge current and sheath voltages. The calculation was realized both for single- and for double-frequency discharges. Mutual influences of discharge asymmetry, higher harmonic frequencies and amplitude of discharge voltage were studied. Various effects of plasma resonances and coupling of higher harmonic frequencies were observed and behaviour of higher harmonic frequencies in collisional plasma at high pressure was predicted.
Česky
Výpočet vyšších harmonických frekvencí a časových průběhů elektrických veličin v kapacitně vázaném plazmatu.
Návaznosti
| ED2.1.00/03.0086, projekt VaV |
|