Deposition of Zn-containing films

GALMIZ, Oleksandr; Antonín BRABLEC a Holger KERSTEN. Deposition of Zn-containing films. In 5th Central European Symposium on Plasma Chemistry. 2013. ISBN 978-615-5270-04-8.

Základní údaje

Originální název

Deposition of Zn-containing films

Autoři

GALMIZ, Oleksandr (804 Ukrajina, garant, domácí); Antonín BRABLEC (203 Česká republika, domácí) a Holger KERSTEN (276 Německo)

Vydání

5th Central European Symposium on Plasma Chemistry, 2013

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/13:00081908

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-615-5270-04-8

Klíčová slova anglicky

Atmospheric pressure plasma jet; deposition; zn-containing film.

---

Anotace

V originále

The aim of this work was depositing Zn-containing films using the atmospheric pressure plasma jet “kINPen’09”. In our work preliminary experiments of Zn deposition on the Si substrate in water solutions were done. Solutions of Zn(NO3)2 * 6H2O salt in water were used. A “white” colored film was achieved after the 30 s of treatment time. The deposited film profiles were obtained with the help of profilometer. The variation of the initial solution concentration and the deposition time lead to deposition of films with different film thicknesses.