a 2013

ON SPUTTERED PARTICLE DISTRIBUTION TOWARDS SUBSTRATE DURING TARGET EROSION - SIMULATION AND EXPERIMENT

KLEIN, Peter; Petr VAŠINA a Tereza SCHMIDTOVÁ

Základní údaje

Originální název

ON SPUTTERED PARTICLE DISTRIBUTION TOWARDS SUBSTRATE DURING TARGET EROSION - SIMULATION AND EXPERIMENT

Autoři

Vydání

Final scientific programme & Book of abstracts, 2013

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/13:00066340

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-615-5270-04-8

Klíčová slova česky

Naprašování; Magnetron; Simulácia Monte Carlo;

Klíčová slova anglicky

Sputtering; Magnetron; Monte Carlo simulation; Compound material

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 19. 9. 2013 11:19, Mgr. Peter Klein, Ph.D.

Anotace

V originále

It is commonly observed that thin layers, especially formed by compound material deposited in planar magnetron using the same deposition manners, can have slightly different properties and composition depending on the substrate position. This research shows that one of the important factors to be considered thinking about fluxes of different species on the substrate is the target erosion state.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GAP205/12/0407, projekt VaV
Název: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev