D 2013

Evolution of discharge current in high power impulse magnetron sputtering

FEKETE, Matej; Petr VAŠINA a Peter KLEIN

Základní údaje

Originální název

Evolution of discharge current in high power impulse magnetron sputtering

Autoři

Vydání

Liberec, PAPN 2013: Book of extended abstracts, od s. 17-18, 2 s. 2013

Nakladatel

Technical University of Liberec

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Forma vydání

paměťový nosič (CD, DVD, flash disk)

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/13:00066351

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-7372-988-2

Klíčová slova anglicky

HiPIMS; discharge current; magnetron sputtering; optical emission spectroscopy
Změněno: 20. 9. 2013 10:43, doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.

Anotace

V originále

High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) is nowadays often discussed topic. Physics of HiPIMS discharge is not completely understand yet. Even very basic characteristics of HiPIMS discharge like time resolved dependence of the cathode voltage and the discharge current are still discussed and interpreted. This research shows different regimes of time evolution of the discharge current depending on applied target voltage. Possible interpretation is presented.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GAP205/12/0407, projekt VaV
Název: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev