Preparation of hard TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron

ŽEMLIČKA, Radek, Mojmír JÍLEK, Petr VOGL, Pavel SOUČEK, Vilma BURŠÍKOVÁ a Petr VAŠINA. Preparation of hard TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron. In 5th CESPC. 2013. ISBN 978-615-5270-04-8.

Základní údaje

• Originální název: Preparation of hard TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron
• Autoři: ŽEMLIČKA, Radek (203 Česká republika, domácí), Mojmír JÍLEK (203 Česká republika), Petr VOGL (203 Česká republika), Pavel SOUČEK (203 Česká republika, domácí), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí).
• Vydání: 5th CESPC, 2013.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Konferenční abstrakt
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Maďarsko
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/13:00066354
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• ISBN: 978-615-5270-04-8
• Klíčová slova anglicky: hybrid PVD-PECVD process; rotating cylindrical magnetron; TiC
• Příznaky: Mezinárodní význam, Recenzováno

Anotace

This work deal with preparation of hard nc-TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron.

Návaznosti

• CZ.1.05/2.1.00/03.0086, interní kód MU: Název: CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy, 2.1 Regionální VaV centra

• GAP205/12/0407, projekt VaV: Název: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev

Investor: Grantová agentura ČR, Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev