a 2013

Preparation of hard TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron

ŽEMLIČKA, Radek; Mojmír JÍLEK; Petr VOGL; Pavel SOUČEK; Vilma BURŠÍKOVÁ et al.

Základní údaje

Originální název

Preparation of hard TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron

Autoři

Vydání

5th CESPC, 2013

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Maďarsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/13:00066354

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-615-5270-04-8

Klíčová slova anglicky

hybrid PVD-PECVD process; rotating cylindrical magnetron; TiC

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 20. 9. 2013 11:40, Mgr. Radek Žemlička, Ph.D.

Anotace

V originále

This work deal with preparation of hard nc-TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron.

Návaznosti

CZ.1.05/2.1.00/03.0086, interní kód MU
Název: CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy, 2.1 Regionální VaV centra
GAP205/12/0407, projekt VaV
Název: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev