V 2013

Využití hydridního PVD-PECVD procesu pro růst nc-TiC/a-C:H vrstev na zařízení s rotačními katodami

VAŠINA, Petr; Pavel SOUČEK a Radek ŽEMLIČKA

Základní údaje

Originální název

Využití hydridního PVD-PECVD procesu pro růst nc-TiC/a-C:H vrstev na zařízení s rotačními katodami

Název anglicky

Employing hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron to grow hard nc-TiC/a-C:H coatings

Autoři

Vydání

Brno, 31 s. 2013

Nakladatel

Pivot a.s.

Další údaje

Jazyk

čeština

Typ výsledku

Výzkumná zpráva

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

obsah je utajovanou skutečností

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/13:00072950

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

TiC/C; magnetron sputtering; PVD; PECVD

Štítky

Změněno: 15. 4. 2014 09:57, Ing. Andrea Mikešková

Anotace

ORIG EN

V originále

*Výzkumná zpráva shrnuje výsledky rešerše, výzkumu a vývoje, testů a experimentů prováděných v roce 2013 na zakázku a ve spolupráci s firmou Pivot a.s.

Anglicky

*Reports contains state-of-art, results of research and development, tests, experiments done at 2013 in cooperation and on request of Pivot a.s. company