Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
@misc{1179545, author = {Vašina, Petr and Souček, Pavel and Žemlička, Radek}, address = {Brno}, keywords = {TiC/C; magnetron sputtering; PVD; PECVD}, language = {cze}, location = {Brno}, publisher = {Pivot a.s.}, title = {Využití hydridního PVD-PECVD procesu pro růst nc-TiC/a-C:H vrstev na zařízení s rotačními katodami}, year = {2013} }
TY - GEN ID - 1179545 AU - Vašina, Petr - Souček, Pavel - Žemlička, Radek PY - 2013 TI - Využití hydridního PVD-PECVD procesu pro růst nc-TiC/a-C:H vrstev na zařízení s rotačními katodami VL - Neuveden PB - Pivot a.s. CY - Brno KW - TiC/C KW - magnetron sputtering KW - PVD KW - PECVD N2 - *Výzkumná zpráva shrnuje výsledky rešerše, výzkumu a vývoje, testů a experimentů prováděných v roce 2013 na zakázku a ve spolupráci s firmou Pivot a.s. ER -
VAŠINA, Petr, Pavel SOUČEK a Radek ŽEMLIČKA. \textit{Využití hydridního PVD-PECVD procesu pro růst nc-TiC/a-C:H vrstev na zařízení s rotačními katodami}. Brno: Pivot a.s., 2013, 31 s.
|