SKÁCELOVÁ, Dana, Jan ČECH a Mirko ČERNÁK. PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON. In HAKONE XIV, 2014 Zinnowitz Germany, Book of Abstracts. 2014.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON
Název česky Efekty plazmově-povrchových interakcí při modifikaci křemíku plazmatem za atmosférického tlaku
Autoři SKÁCELOVÁ, Dana, Jan ČECH a Mirko ČERNÁK.
Vydání HAKONE XIV, 2014 Zinnowitz Germany, Book of Abstracts, 2014.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Konferenční abstrakt
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Německo
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova česky interakce; plazma; povrch; bariérový výboj; koplanární; DCSBD; křemík
Klíčová slova anglicky interaction; plasma; surface; barrier discharge;coplanar; DCSBD; Silicon
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnil: Mgr. Jan Čech, Ph.D., učo 63843. Změněno: 15. 10. 2014 07:18.
Anotace
The aim of this work is to study the characterization of plasma-surface interaction of silicon in DCSBD plasma. The influence of the plasma, generated in ambient air on the silicon surface properties with respect to the filamentary nature of DCSBD was studied. Surface properties and chemical composition of silicon were studied by SEM and EDX, respectively. The experimental data were successfully supported by the modeling.
Anotace česky
Cílem této práce je studium plazmově-povrchových interakcí plazmatu DCSBD s křemíkem. Studován byl vliv plazmatu generovaného ve vzduchu na povrchové vlastnosti křemíku s ohledem na filamentární povahu DCSBD výboje. Povrchové vlastnosti a chemické složení křemíku byly studovány pomocí SEM, resp. EDX. Získaná experimentální data byla úspěšně podpořena výsledky numerického modelování.
VytisknoutZobrazeno: 27. 7. 2024 14:25