a 2014

PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON

SKÁCELOVÁ, Dana; Jan ČECH a Mirko ČERNÁK

Základní údaje

Originální název

PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON

Název česky

Efekty plazmově-povrchových interakcí při modifikaci křemíku plazmatem za atmosférického tlaku

Autoři

Vydání

HAKONE XIV, 2014 Zinnowitz Germany, Book of Abstracts, 2014

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Německo

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ne

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

interakce; plazma; povrch; bariérový výboj; koplanární; DCSBD; křemík

Klíčová slova anglicky

interaction; plasma; surface; barrier discharge;coplanar; DCSBD; Silicon

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 15. 10. 2014 07:18, doc. Mgr. Jan Čech, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

The aim of this work is to study the characterization of plasma-surface interaction of silicon in DCSBD plasma. The influence of the plasma, generated in ambient air on the silicon surface properties with respect to the filamentary nature of DCSBD was studied. Surface properties and chemical composition of silicon were studied by SEM and EDX, respectively. The experimental data were successfully supported by the modeling.

Česky

Cílem této práce je studium plazmově-povrchových interakcí plazmatu DCSBD s křemíkem. Studován byl vliv plazmatu generovaného ve vzduchu na povrchové vlastnosti křemíku s ohledem na filamentární povahu DCSBD výboje. Povrchové vlastnosti a chemické složení křemíku byly studovány pomocí SEM, resp. EDX. Získaná experimentální data byla úspěšně podpořena výsledky numerického modelování.